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1. (WO2018199184) 蒸発源及び成膜装置

Pub. No.:    WO/2018/199184    International Application No.:    PCT/JP2018/016861
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Apr 26 01:59:59 CEST 2018
IPC: C23C 14/24
C23C 14/14
H01L 51/50
H05B 33/10
Applicants: ULVAC, INC.
株式会社アルバック
Inventors: NAKAMURA, Toshimitsu
中村 寿充
HOSHIKAWA, Kenji
星川 健児
Title: 蒸発源及び成膜装置
Abstract:
蒸発源は、蒸発源容器と加熱装置と第1の熱遮蔽板と第2の熱遮蔽板とを具備する。蒸発源容器は、天面を有し薄膜材料を収容する容器本体と、容器本体と連結し天面から突出して一軸方向に配置され、薄膜材料の気化物質を放出する開口部を有する複数のノズルとを備える。加熱装置は容器本体を加熱する。第1の熱遮蔽板は、天面と離間して対向配置され、複数のノズル毎に対応して設けられた記ノズルが貫通するノズルの開口部よりも大きい第1の開口領域を有する複数の第1の開口部を備える。第2の熱遮蔽板は、容器本体と第1の熱遮蔽板との間に複数のノズル各々に固定されて天面と離間して対向配置され、第1の開口領域よりも大きい外形を有しノズルが貫通する第2の開口部を有する。