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1. (WO2018199169) 成膜装置及び成膜方法
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国際公開番号: WO/2018/199169 国際出願番号: PCT/JP2018/016817
国際公開日: 01.11.2018 国際出願日: 25.04.2018
IPC:
C23C 14/24 (2006.01) ,C23C 14/56 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
24
真空蒸着
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
56
連続被覆のために特に適合した装置;真空を維持するための装置,例.真空ロック
出願人:
株式会社アルバック ULVAC, INC. [JP/JP]; 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地 2500 Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543, JP
発明者:
横山 礼寛 YOKOYAMA, Akihiro; JP
武井 応樹 TAKEI, Masaki; JP
佐藤 昌敏 SATO, Masatoshi; JP
清田 淳也 KIYOTA, Junya; JP
代理人:
大森 純一 OMORI, Junichi; JP
優先権情報:
2017-08733326.04.2017JP
発明の名称: (EN) FILM FORMING DEVICE AND FILM FORMING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE FORMATION DE FILM ET PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM
(JA) 成膜装置及び成膜方法
要約:
(EN) A film forming device according to an aspect of the present invention has an unwinding roller, a winding roller, a heating roller, a film forming unit, and a control unit. The unwinding roller unwinds a base material which is a long film. The winding roller winds the base material unwound from the unwinding roller. The heating roller includes a hot bath unit, and is provided between the unwinding roller and the winding roller in the transporting direction of the base material and heats the base material. The film forming unit is provided facing the heating roller, includes an evaporation source having a heating mechanism for heating a metal material, and forms a metal film on the base material. While the base material is being unwound from the heating roller and wound around the winding roller, the control unit controls either the hot bath unit or the heating mechanism so that the temperature difference between the metal film and the base material is greater than 0°C and less than 180°C.
(FR) Selon un aspect, la présente invention concerne un dispositif de formation de film comportant un rouleau de déroulement, un rouleau d'enroulement, un rouleau chauffant, une unité de formation de film et une unité de commande. Le rouleau de déroulement déroule un matériau de base qui est un film long. Le rouleau d'enroulement enroule le matériau de base déroulé du rouleau de déroulement. Le rouleau chauffant comprend une unité de bain chaud, et est disposé entre le rouleau de déroulement et le rouleau d'enroulement dans la direction de transport du matériau de base et chauffe le matériau de base. L'unité de formation de film est disposée face au rouleau chauffant, comprend une source d'évaporation comportant un mécanisme de chauffage destiné à chauffer un matériau métallique et forme un film métallique sur le matériau de base. Pendant que le matériau de base est déroulé du rouleau chauffant et enroulé autour du rouleau d'enroulement, l'unité de commande commande soit l'unité de bain chaud soit le mécanisme de chauffage, de sorte que la différence de température entre le film métallique et le matériau de base soit supérieure à 0 °C et inférieure à 180 °C.
(JA) 本発明の一形態に係る成膜装置は、巻出しローラ、巻取りローラ、加熱ローラ、成膜部及び制御部を有する。巻出しローラは長尺のフィルムである基材を巻き出す。巻取りローラは巻出しローラから巻き出された基材を巻き取る。加熱ローラは温調ユニットを含み、基材の搬送方向において巻出しローラと巻取りローラとの間に設けられ、基材を加熱する。成膜部は加熱ローラに対向して設けられ、金属材料を加熱する加熱機構を有する蒸発源を含み、基材上に金属膜を成膜する。制御部は基材が加熱ローラから巻き出され、巻取りローラに巻き取られる過程で、金属膜と基材との温度差が0℃以上180℃未満となるように、温調ユニット又は加熱機構のいずれか一方を制御する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)