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1. (WO2018199067) 磁気センサー
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国際公開番号: WO/2018/199067 国際出願番号: PCT/JP2018/016555
国際公開日: 01.11.2018 国際出願日: 24.04.2018
IPC:
G01R 33/10 (2006.01) ,G01R 33/09 (2006.01) ,H01L 43/08 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
33
磁気的変量を測定する計器または装置
02
磁界または磁束の方向または大きさの測定
10
磁界分布をプロットするもの
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
33
磁気的変量を測定する計器または装置
02
磁界または磁束の方向または大きさの測定
06
電流磁気装置を使用するもの
09
磁気抵抗装置を使用するもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
43
電流磁気効果またはこれに類似な磁気効果を利用した装置;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
08
磁界制御抵抗
出願人:
コニカミノルタ株式会社 KONICA MINOLTA, INC. [JP/JP]; 東京都千代田区丸の内二丁目7番2号 2-7-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1007015, JP
発明者:
関根 孝二郎 SEKINE, Koujirou; JP
城野 純一 JONO, Junichi; JP
土田 匡章 TSUCHIDA, Masaaki; JP
代理人:
特許業務法人光陽国際特許事務所 KOYO INTERNATIONAL PATENT FIRM; 東京都千代田区有楽町一丁目1番3号 東京宝塚ビル17階 17F., Tokyo Takarazuka Bldg., 1-1-3, Yurakucho, Chiyoda-ku, Tokyo 1000006, JP
優先権情報:
2017-08636225.04.2017JP
発明の名称: (EN) MAGNETIC SENSOR
(FR) CAPTEUR MAGNÉTIQUE
(JA) 磁気センサー
要約:
(EN) In order to detect the two-component magnetic field strength in the same position of a measurement sample and to detect with high spatial resolution the magnetic field distribution of the measurement sample, this measurement sensor 100 is provided with a first magnetic sensor array 30 comprising multiple planar first magnetic resistance elements 1 arranged two-dimensionally, and a magnetic sensor array 40 comprising multiple planar second magnetic resistance elements 2 arranged two-dimensionally and opposite of the first magnetic resistance elements 1 of the first magnetic sensor array 30, with the measurement sample 6 interposed therebetween, wherein the directions of the detection axes of the facing first magnetic resistance elements 1 and second magnetic resistance elements 2 are different.
(FR) Afin de détecter la force de champ magnétique à deux composants dans la même position d'un échantillon de mesure et de détecter avec une haute résolution spatiale la distribution de champ magnétique de l'échantillon de mesure, ce capteur de mesure (100) est pourvu d'un premier réseau de capteurs magnétiques (30) comprenant de multiples premiers éléments de résistance magnétique (1) plans disposés en deux dimensions, et un réseau de capteurs magnétiques (40) comprenant de multiples seconds éléments de résistance magnétique (2) plans disposés en deux dimensions et à l'opposé des premiers éléments de résistance magnétique (1) du premier réseau de capteurs magnétiques (30), avec l'échantillon de mesure (6 )interposé entre ceux-ci, les directions des axes de détection des premiers éléments de résistance magnétique (1) et des seconds éléments de résistance magnétique (2) en vis-à-vis étant différentes.
(JA) 測定試料に対して同一位置における二成分の磁場強度を検出し、測定試料の磁場分布を高い空間分解能で検出する。磁気センサー100は、平面型の第1の磁気抵抗素子1が二次元に複数配列された第1の磁気センサーアレイ30と、測定試料6を挟んで第1の磁気センサーアレイ30の第1の磁気抵抗素子1の各々と対向して平面型の第2の磁気抵抗素子2が二次元に複数配列された第2の磁気センサーアレイ40と、を備え、対向する第1の磁気抵抗素子1と第2の磁気抵抗素子2の検出軸の方向が異なる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)