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1. (WO2018198952) フィルタ装置およびその製造方法

Pub. No.:    WO/2018/198952    International Application No.:    PCT/JP2018/016242
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 21 01:59:59 CEST 2018
IPC: H03H 9/25
H03H 3/08
H03H 9/145
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
株式会社村田製作所
Inventors: KAWASAKI, Koichiro
川崎 幸一郎
Title: フィルタ装置およびその製造方法
Abstract:
フィルタ装置(100)は、圧電性基板(1)と、圧電性基板(1)の表面に配置される第1および第2の機能素子(S2,S3)と、圧電性基板(1)の表面に配置され、第1および第2の機能素子(S2,S3)を接続する第1の導電層(5c)と、少なくとも第1の導電層(5c)上に配置される絶縁層(6)と、圧電性基板(1)の表面に対向して配置されるカバー(2)と、圧電性基板(1)の表面とカバー(2)との間に配置され、圧電性基板(1)とカバー(2)との間に、第1および第2の機能素子(S2,S3)が収容される中空部を形成する支持層(7)と、絶縁層(6)とカバー(2)とを接続する第1の導体(8c)とを備える。