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1. (WO2018198947) 多結晶シリコン破砕物の製造方法、及び、多結晶シリコン破砕物の表面金属濃度を管理する方法

Pub. No.:    WO/2018/198947    International Application No.:    PCT/JP2018/016217
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Apr 20 01:59:59 CEST 2018
IPC: C01B 33/035
B02C 1/02
B02C 13/00
C30B 29/06
Applicants: TOKUYAMA CORPORATION
株式会社トクヤマ
Inventors: NISHIMURA Shigeki
西村 茂樹
Title: 多結晶シリコン破砕物の製造方法、及び、多結晶シリコン破砕物の表面金属濃度を管理する方法
Abstract:
本発明は、シーメンス法により多結晶シリコンロッドを製造する工程、該多結晶シリコンロッドを破砕し、多結晶シリコン破砕物を得る工程、および該多結晶シリコン破砕物を洗浄槽内でエッチングして洗浄する工程を含み、該洗浄工程にて、制御された形状およびサイズを有する多結晶シリコン小片群を洗浄槽内に存在させ、エッチング処理前後の該多結晶シリコン小片群の重量変化を測定し、洗浄工程を管理する工程を含む、多結晶シリコン破砕物の製造方法に関する。また、本発明は多結晶シリコン破砕物の表面金属濃度の管理方法に関する。