このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2018198819) ウエハ検査装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/198819 国際出願番号: PCT/JP2018/015497
国際公開日: 01.11.2018 国際出願日: 13.04.2018
IPC:
H01L 21/66 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66
製造または処理中の試験または測定
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
出願人:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
発明者:
秋山 収司 AKIYAMA, Shuji; JP
保坂 広樹 HOSAKA, Hiroki; JP
代理人:
伊東 忠重 ITOH, Tadashige; JP
伊東 忠彦 ITOH, Tadahiko; JP
優先権情報:
2017-08542424.04.2017JP
発明の名称: (EN) WAFER INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE TRANCHE
(JA) ウエハ検査装置
要約:
(EN) A wafer inspection device according to one embodiment of the present invention has a plurality of inspection parts arranged in the height direction and the transverse direction, wherein, at both ends in the longitudinal direction of a circulation region including the plurality of inspection parts arranged in the transverse direction, a pair of air circulation means for circulating air in the circulation region are provided.
(FR) Un dispositif d'inspection de tranche selon un mode de réalisation de la présente invention comprend une pluralité de parties d'inspection agencées dans la direction de la hauteur et dans la direction transversale, une paire de moyens de circulation d'air pour faire circuler de l'air dans la région de circulation étant disposée aux deux extrémités dans la direction longitudinale d'une région de circulation comprenant la pluralité de parties d'inspection agencées dans la direction transversale.
(JA) 一実施形態のウエハ検査装置は、高さ方向及び横方向に配列された複数の検査部を有するウエハ検査装置であって、横方向に配列された複数の検査部を含む循環領域の長手方向の両端部に、前記循環領域内の空気を循環させる一対の空気循環手段が配設されている。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)