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1. (WO2018198302) 架張装置、蒸着マスク製造装置および蒸着マスク製造方法

Pub. No.:    WO/2018/198302    International Application No.:    PCT/JP2017/016886
Publication Date: Fri Nov 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Apr 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 14/24
C23C 14/04
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA
シャープ株式会社
Inventors: NAKAJIMA, Shinsaku
中島 信作
Title: 架張装置、蒸着マスク製造装置および蒸着マスク製造方法
Abstract:
架張装置(1)は、蒸着マスク(5)に張力を与える。架張装置(1)は、蒸着マスク(5)に張力を与えるように、蒸着マスク(1)の両端に少なくとも2箇所ずつ設けられた引張端部(51~54)を引っ張る引張駆動装置(31~34)と、蒸着マスク(5)が引っ張られる方向の端縁部に沿った引張端部(51~54)を、蒸着マスク(5)の面に垂直な方向に伸びる駆動軸(21a~24a)の周りに回転させる回転機構(21~24)と、蒸着マスク(5)において張力が作用する端縁部の変位を検出する変位センサ8,9と、変位センサ(8,9)によって検出された変位に応じた回転角度および回転方向で回転機構(21~24)を回転させるように回転機構(21~24)を制御する制御装置(1)と、を備えている。