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1. WO2018198288 - ポンプ監視装置、真空処理装置および真空ポンプ

公開番号 WO/2018/198288
公開日 01.11.2018
国際出願番号 PCT/JP2017/016818
国際出願日 27.04.2017
IPC
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
04
液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ
B
液体用容積形機械;ポンプ
49
グループ1/00から47/00に分類されない,または上記グループにはない注目すべき,機械,ポンプまたはポンプ装置の制御または安全手段
10
他の安全手段
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
04
液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ
D
非容積形ポンプ
19
特に圧縮性流体のための軸流ポンプ
02
多段ポンプ
04
高真空をつくるために特に採用されるもの,例.分子ポンプ
F04B 49/10 (2006.01)
F04D 19/04 (2006.01)
CPC
F04B 49/10
F04D 19/04
出願人
  • 株式会社島津製作所 SHIMADZU CORPORATION [JP/JP]; 京都府京都市中京区西ノ京桑原町1番地 1, Nishinokyo-Kuwabara-cho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6048511, JP
発明者
  • 玉井 雄介 TAMAI, Yusuke; JP
  • 野田 陽 NODA, Akira; JP
代理人
  • 永井 冬紀 NAGAI, Fuyuki; JP
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PUMP MONITORING DEVICE, VACUUM PROCESSING DEVICE, AND VACUUM PUMP
(FR) DISPOSITIF DE SURVEILLANCE DE POMPE, DISPOSITIF DE TRAITEMENT SOUS VIDE ET POMPE À VIDE
(JA) ポンプ監視装置、真空処理装置および真空ポンプ
要約
(EN)
Provided is a pump monitoring device that detects abnormalities in a plurality of vacuum pumps which are connected to the same chamber. The pump monitoring device compares signals indicating the rotation state of the pump rotor of each of the plurality of vacuum pumps, and on the basis of such results, estimates if an abnormality is occurring in any the plurality of vacuum pumps.
(FR)
Dispositif de surveillance de pompe qui détecte des anomalies dans une pluralité de pompes à vide qui sont reliées à la même chambre. Le dispositif de surveillance de pompe compare des signaux indiquant l'état de rotation du rotor de pompe de chaque pompe de la pluralité de pompes à vide, et sur la base de ces résultats, estime si une anomalie se produit dans l'une quelconque de la pluralité de pompes à vide.
(JA)
同一のチャンバに接続されている複数の真空ポンプの異常を検出するポンプ監視装置であって、ポンプ監視装置は、複数の前記真空ポンプの各々のポンプロータの回転状態を表す信号を比較した結果に基づいて、複数の前記真空ポンプのいずれかに異常が生じていることを推定する。
他の公開
JP2019515000
国際事務局に記録されている最新の書誌情報