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1. (WO2018194052) 焼結体、基板、回路基板、および焼結体の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/194052    International Application No.:    PCT/JP2018/015839
Publication Date: Fri Oct 26 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Apr 18 01:59:59 CEST 2018
IPC: C04B 35/587
H01L 23/373
H05K 1/03
Applicants: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
株式会社 東芝
TOSHIBA MATERIALS CO., LTD.
東芝マテリアル株式会社
Inventors: MOMMA Jun
門馬 旬
AOKI Katsuyuki
青木 克之
TAKAHASHI Satoshi
高橋 聡志
Title: 焼結体、基板、回路基板、および焼結体の製造方法
Abstract:
焼結体は、窒化珪素を含む結晶粒子と、粒界相と、を具備する。焼結体に交流電圧を印加しながら交流電圧の周波数を50Hzから1MHzまで連続的に変化させて焼結体の誘電損失を測定するとき、800kHzないし1MHzの周波数帯域での前記誘電損失の平均値εAと、100Hzないし200Hzの周波数帯域での前記誘電損失の平均値εBは、式:|εA-εB|≦0.1を満たす。