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1. (WO2018194051) 撮像素子、積層型撮像素子及び固体撮像装置

Pub. No.:    WO/2018/194051    International Application No.:    PCT/JP2018/015838
Publication Date: Fri Oct 26 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Apr 18 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 27/146
H01L 51/42
H04N 5/369
H04N 9/07
Applicants: SONY CORPORATION
ソニー株式会社
SONY SEMICONDUCTOR SOLUTIONS CORPORATION
ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社
Inventors: MORIWAKI Toshiki
森脇 俊貴
KANEDA Yukio
兼田 有希央
Title: 撮像素子、積層型撮像素子及び固体撮像装置
Abstract:
撮像素子は、第1電極21、光電変換層23A及び第2電極22が積層されて成る光電変換部を備えており、第1電極21と光電変換層23Aとの間には、無機酸化物半導体材料層23Bが形成されており、無機酸化物半導体材料層23Bは、インジウム、タングステン、スズ及び亜鉛から成る群から選択された少なくとも2種類の元素から構成されており、又は、無機酸化物半導体材料層23Bの近傍に位置する光電変換層23Aの部分を構成する材料のLUMO値E1、及び、無機酸化物半導体材料層23Bを構成する材料のLUMO値E2は、E1-E2<0.2eVを満足し、又は、無機酸化物半導体材料層23Bを構成する材料の移動度は10cm2/V・s以上である。