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1. (WO2018193986) 固体撮像素子及びその製造方法

Pub. No.:    WO/2018/193986    International Application No.:    PCT/JP2018/015540
Publication Date: Fri Oct 26 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Apr 14 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 27/146
G02B 3/00
G02B 5/20
H01L 31/10
Applicants: TOPPAN PRINTING CO.,LTD.
凸版印刷株式会社
Inventors: KUMAI Koichi
熊井 晃一
GORAI Ryohei
五来 亮平
AKENO Yasutake
明野 康剛
SAWANO Tomomi
澤野 智美
HARA Takahiro
原 昂大
Title: 固体撮像素子及びその製造方法
Abstract:
赤色、緑色、青色の画素毎に受光感度が最適化されたカラーフィルタ層を有する固体撮像素子を提供する。固体撮像素子は、平坦化層(3)とカラーフィルタ層(4)との間に下引き層(7)を設ける。下引き層(7)は、赤色フィルタの画素部でのマイクロレンズ(5)の焦点が、光電変換素子(2)の平坦化層(3)との境界面から2000nm以上2500nm以下の位置となり、緑色フィルタの画素部でのマイクロレンズ(5)の焦点が、光電変換素子(2)の平坦化層(3)との境界面から600nm以上900nm以下の位置となり、青色フィルタの画素部でのマイクロレンズ(5)の焦点が、光電変換素子(2)の平坦化層(3)との境界面から200nm以上500nm以下の位置となる厚さで形成されている。