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1. (WO2018193986) 固体撮像素子及びその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/193986 国際出願番号: PCT/JP2018/015540
国際公開日: 25.10.2018 国際出願日: 13.04.2018
IPC:
H01L 27/146 (2006.01) ,G02B 3/00 (2006.01) ,G02B 5/20 (2006.01) ,H01L 31/10 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
27
1つの共通基板内または上に形成された複数の半導体構成部品または他の固体構成部品からなる装置
14
赤外線,可視光,短波長の電磁波または粒子線輻射に感応する半導体構成部品で,これらの輻射線エネルギーを電気的エネルギーに変換するかこれらの輻射線によって電気的エネルギーを制御するかのどちらかに特に適用されるもの
144
輻射線によって制御される装置
146
固体撮像装置構造
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
3
単レンズまたは複合レンズ
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
5
レンズ以外の光学要素
20
フィルター
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
31
赤外線,可視光,短波長の電磁波,または粒子線輻射に感応する半導体装置で,これらの輻射線エネルギーを電気的エネルギーに変換するかこれらの輻射線によって電気的エネルギーを制御かのどちらかに特に適用されるもの;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの細部
08
輻射線が装置内を流れる電流を制御するもの,例.光―抵抗器(フォト―レジスター)
10
少なくとも1つの電位障壁または表面障壁に特徴のあるもの,例.フォトトランジスタ
出願人:
凸版印刷株式会社 TOPPAN PRINTING CO.,LTD. [JP/JP]; 東京都台東区台東一丁目5番1号 5-1, Taito 1-chome, Taito-ku, Tokyo 1100016, JP
発明者:
熊井 晃一 KUMAI Koichi; JP
五来 亮平 GORAI Ryohei; JP
明野 康剛 AKENO Yasutake; JP
澤野 智美 SAWANO Tomomi; JP
原 昂大 HARA Takahiro; JP
代理人:
廣瀬 一 HIROSE Hajime; JP
宮坂 徹 MIYASAKA Toru; JP
優先権情報:
2017-08142617.04.2017JP
発明の名称: (EN) SOLID-STATE IMAGING ELEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) ÉLÉMENT D'IMAGERIE À SEMI-CONDUCTEURS ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 固体撮像素子及びその製造方法
要約:
(EN) Provided is a solid-state imaging element including a color filter layer of which the optical reception sensitivity is optimized for each of red, green, and blue pixels. The solid-state imaging element includes an undercoating layer (7) between a planarization layer (3) and a color filter layer (4). The undercoating layer (7) is formed to a thickness such that: the focal point of a microlens (5) in a red filter pixel portion is at a position of not less than 2000 nm and not more than 2500 nm from an boundary surface of a photoelectric convert element (2) with respect to the planarization layer (3); the focal point of the microlens (5) at a green filter pixel portion is at a position of not less than 600 nm and not more than 900 nm from a boundary surface of the photoelectric convert element (2) with respect to the planarization layer (3); and the focal point of the microlens (5) at a blue filter pixel portion is at a position of not less than 200 nm and not more than 500 nm from a boundary surface of the photoelectric convert element (2) with respect to the planarization layer (3).
(FR) L'invention concerne un élément d'imagerie à semi-conducteurs comprenant une couche de filtre coloré dont la sensibilité de réception optique est optimisée pour chacun des pixels rouges, verts et bleus. L'élément d'imagerie à semi-conducteurs comprend une couche intermédiaire (7) entre une couche de planarisation (3) et une couche de filtre coloré (4). La couche intermédiaire (7) est formée à une épaisseur telle que : le point focal d'une microlentille (5) dans une partie de pixel de filtre rouge est à une position supérieure ou égale à 2000 nm et inférieure ou égale à 2500 nm à partir d'une surface limite d'un élément de conversion photoélectrique (2) par rapport à la couche de planarisation (3) ; le point focal de la microlentille (5) au niveau d'une partie de pixel de filtre vert est à une position supérieure ou égale à 600 nm et inférieure ou égale à 900 nm à partir d'une surface limite de l'élément de conversion photoélectrique (2) par rapport à la couche de planarisation (3) ; et le point focal de la microlentille (5) au niveau d'une partie de pixel de filtre bleu est à une position supérieure ou égale à 200 nm et inférieure ou égale à 500 nm à partir d'une surface limite de l'élément de conversion photoélectrique (2) par rapport à la couche de planarisation (3).
(JA) 赤色、緑色、青色の画素毎に受光感度が最適化されたカラーフィルタ層を有する固体撮像素子を提供する。固体撮像素子は、平坦化層(3)とカラーフィルタ層(4)との間に下引き層(7)を設ける。下引き層(7)は、赤色フィルタの画素部でのマイクロレンズ(5)の焦点が、光電変換素子(2)の平坦化層(3)との境界面から2000nm以上2500nm以下の位置となり、緑色フィルタの画素部でのマイクロレンズ(5)の焦点が、光電変換素子(2)の平坦化層(3)との境界面から600nm以上900nm以下の位置となり、青色フィルタの画素部でのマイクロレンズ(5)の焦点が、光電変換素子(2)の平坦化層(3)との境界面から200nm以上500nm以下の位置となる厚さで形成されている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)