このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2018193943) 真空ポンプ、真空ポンプに備わる磁気軸受部およびシャフト
国際事務局に記録されている最新の書誌情報第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/193943 国際出願番号: PCT/JP2018/015284
国際公開日: 25.10.2018 国際出願日: 11.04.2018
IPC:
F04D 19/04 (2006.01) ,F16C 32/04 (2006.01)
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
04
液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ
D
非容積形ポンプ
19
特に圧縮性流体のための軸流ポンプ
02
多段ポンプ
04
高真空をつくるために特に採用されるもの,例.分子ポンプ
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
C
軸;たわみ軸;たわみ被覆の中で運動を伝達するための機械的な手段;クランク軸機構の要素;ピボット;枢着;伝動装置,継ぎ手,クラッチまたはブレーキ要素以外の回転工学の要素;軸受
32
その他の軸受
04
磁気的または電気的な支持手段を用いるもの
出願人:
エドワーズ株式会社 EDWARDS JAPAN LIMITED [JP/JP]; 千葉県八千代市吉橋1078番地1 1078-1, Yoshihashi, Yachiyo-shi Chiba 2768523, JP
発明者:
時 永偉 SHI Yongwei; JP
三輪田 透 MIWATA Tooru; JP
坂口 祐幸 SAKAGUCHI Yoshiyuki; JP
優先権情報:
2017-08199218.04.2017JP
発明の名称: (EN) VACUUM PUMP, AND MAGNETIC BEARING UNIT AND SHAFT PROVIDED IN VACUUM PUMP
(FR) POMPE À VIDE, ET UNITÉ DE PALIER MAGNÉTIQUE ET ARBRE DISPOSÉS DANS UNE POMPE À VIDE
(JA) 真空ポンプ、真空ポンプに備わる磁気軸受部およびシャフト
要約:
(EN) Provided are a vacuum pump with a reduced vacuum pump total height, and a magnetic bearing unit and a shaft provided in the vacuum pump. In the present embodiment, in a shaft-side lower portion of a five-axis control magnetic bearing, a lower-side Ra sensor target (29), a fourth spacer (28), and an Ra electromagnet target (27) are disposed in this order from an intake opening side toward an exhaust opening side. In a stator-side lower portion, a lower-side Ra sensor (10) and a lower-side Ra electromagnet (9) are disposed in this order from the intake opening direction toward the exhaust opening direction. That is, the lower-side Ra sensor (10) is disposed on the upper side of the lower-side Ra electromagnet (9). The configuration makes it possible to reduce the length of a third spacer (26) fixed on the lower-side Ra sensor target (29), enabling a decrease in the length (S) of the shaft. As a result, it becomes possible to reduce the height (M) of the five-axis control magnetic bearing and to lower a stator column in which an electronic component unit of the five-axis control magnetic bearing is contained. Thus, the total height (T) of the vacuum pump can be reduced.
(FR) L'invention concerne une pompe à vide ayant une hauteur totale de pompe à vide réduite, et une unité de palier magnétique et un arbre disposés dans la pompe à vide. Dans le présent mode de réalisation, dans une partie inférieure côté arbre d'un palier magnétique de commande à cinq axes, une cible de capteur Ra (29) côté inférieur, un quatrième espaceur (28) et une cible d'électroaimant Ra (27) sont disposés dans cet ordre depuis un côté ouverture d'admission vers un côté ouverture d'échappement. Dans une partie inférieure côté stator, un capteur Ra (10) côté inférieur et un électroaimant Ra (9) côté inférieur sont disposés dans cet ordre à partir de la direction d'ouverture d'admission vers la direction d'ouverture d'échappement. C'est-à-dire que le capteur Ra (10) côté inférieur est disposé sur le côté supérieur de l'électroaimant Ra (9) côté inférieur. La configuration permet de réduire la longueur d'un troisième espaceur (26) fixé sur la cible de capteur Ra (29) côté inférieur, permettant une diminution de la longueur (S) de l'arbre. Par conséquent, il devient possible de réduire la hauteur (M) du palier magnétique de commande à cinq axes et d'abaisser une colonne de stator dans laquelle une unité de composant électronique du palier magnétique de commande à cinq axes est contenue. Ainsi, la hauteur totale (T) de la pompe à vide peut être réduite.
(JA) 真空ポンプの全高を低くする真空ポンプ、真空ポンプに備わる磁気軸受部およびシャフトを実現する。 本実施形態では、5軸制御磁気軸受におけるシャフト側下方では、吸気口側から排気口側へ、下側Raセンサターゲット(29)、第4スペーサ(28)、そしてRa電磁石ターゲット(27)という構成順になる。あわせて、ステータ側下方では、吸気口方向から排気口方向へ順に、下側Raセンサ(10)、下側Ra電磁石(9)という構成順になる。つまり、下側Raセンサ(10)が下側Ra電磁石(9)の上側に配設される構成にする。この構成により、下側Raセンサターゲット(29)の上に固定される第3スペーサ(26)を短くすることができるので、シャフトの長さ(S)を短くすることができる。その結果、5軸制御磁気軸受の高さ(M)、および、5軸制御磁気軸受を構成する電装部を内包するステータコラムを低くすることができるので、真空ポンプの全高(T)を低くすることができる。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)