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1. (WO2018193938) 熱処理装置およびそのメンテナンス方法

Pub. No.:    WO/2018/193938    International Application No.:    PCT/JP2018/015265
Publication Date: Fri Oct 26 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Apr 12 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/027
G03F 7/38
G03F 7/40
H01L 21/02
H01L 21/31
H01L 21/324
H01L 21/683
Applicants: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
株式会社SCREENホールディングス
Inventors: FUKUMOTO Yasuhiro
福本 靖博
TANAKA Yuji
田中 裕二
MATSUO Tomohiro
松尾 友宏
ISHII Takeharu
石井 丈晴
Title: 熱処理装置およびそのメンテナンス方法
Abstract:
基板出入口とは別にチャンバ(2)の側壁には、排気口(23)が設けられており、その排気口には、チャンバ内の気体を排気する気体回収部(51)が接続されている。気体回収部は、パッチン錠(63)によって、チャンバから取り外され、また、チャンバに取り付けられるようになっている。気体回収部をチャンバから取り外すと、排気口が開かれる。この排気口がメンテナンス用の開口部となる。これにより、開口部の個数を増やさずに、基板出入口とは別に設けられたチャンバの開口部によって、チャンバ内のメンテナンスができる。