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1. (WO2018193830) 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置

Pub. No.:    WO/2018/193830    International Application No.:    PCT/JP2018/014221
Publication Date: Fri Oct 26 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Apr 04 01:59:59 CEST 2018
IPC: H03H 9/25
H03H 9/145
H03H 9/64
H03H 9/72
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
株式会社村田製作所
Inventors: MIMURA, Masakazu
三村 昌和
Title: 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置
Abstract:
電極指ピッチが異なる複数のIDT電極が同一の圧電基板上に設けられている場合においても不要波を効果的に抑制することができる、弾性波装置を提供する。 弾性波装置1は、LiNbO3からなる圧電基板2と、圧電基板2上に設けられた第1,第2のIDT電極4A,4Bを覆うように圧電基板2上に設けられた第1の誘電体膜8(誘電体膜)とを備える。第1,第2のIDT電極4A,4Bは主電極層を有する。第1,第2のIDT電極4A,4Bの電極指ピッチにより規定される波長をλ1,λ2、その平均値をλ0とし、λ1/λ0=1+X、かつλ2/λ0=1-Xとしたときに、0.05≦X≦0.65である。波長λ1が最も長く、波長λ2が最も短い。圧電基板2のオイラー角(φ,θ,ψ)におけるφが0°±5°であり、ψが0°±10°であり、θが式1を満たす。式1において、B1<T×r≦0.10λ0であり、かつB2<T×r≦0.10λ0である。