国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018193759) 抵抗変化素子の製造方法及び抵抗変化素子

Pub. No.:    WO/2018/193759    International Application No.:    PCT/JP2018/009978
Publication Date: Fri Oct 26 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Mar 15 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/8239
C23C 14/06
C23C 14/08
C23C 14/34
H01L 27/105
H01L 45/00
H01L 49/00
Applicants: ULVAC, INC.
株式会社アルバック
Inventors: MIYAGUCHI, Yuusuke
宮口 有典
JINBO, Takehito
神保 武人
MANITA, Shun
真仁田 峻
OHTA, Shunpei
太田 俊平
AHN, Hyung-Woo
安 炯祐
Title: 抵抗変化素子の製造方法及び抵抗変化素子
Abstract:
【課題】低コストで電気特性に優れた抵抗変化素子の製造。 【解決手段】抵抗変化素子の製造方法は、基板上に第1窒化チタン電極層を形成することを含む。上記第1窒化チタン電極層の上には、第1抵抗率を有する第1金属酸化物層が形成される。上記第1金属酸化物層の上に、上記第1抵抗率とは異なる第2抵抗率を有する第2金属酸化物層が形成される。上記基板にバイアス電圧を印加しながら、上記第2金属酸化物層の上に第2窒化チタン電極層がスパッタリング法によって形成される。