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1. (WO2018193605) 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置における条件設定方法

Pub. No.:    WO/2018/193605    International Application No.:    PCT/JP2017/015961
Publication Date: Fri Oct 26 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Apr 22 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01J 37/28
H01J 37/22
H01J 37/24
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社日立ハイテクノロジーズ
Inventors: NUMATA Yuki
沼田 由起
SATO Hirofumi
佐藤 博文
KAWAMATA Shigeru
川俣 茂
Title: 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置における条件設定方法
Abstract:
操作者の経験に基づくトライアンドエラーに陥ることなく荷電粒子線装置にて所望の画質(コントラスト等)の画像を取得できるよう、操作者の観察条件設定を補助する。このため、試料を戴置するステージ115と、荷電粒子ビームを試料に照射する荷電粒子光学系と、荷電粒子ビームと試料との相互作用により発生する電子を検出する検出器121,122と、操作者により設定される観察条件にしたがってステージ及び荷電粒子光学系を制御し、検出器からの検出信号に基づき画像を形成する制御部103と、観察条件を設定するための観察アシスト画面を表示するディスプレイ104とを有する荷電粒子線装置であって、制御部は、観察条件において荷電粒子光学系により試料に照射される1画素あたりの照射電子量に関する情報510を、観察アシスト画面401に表示する。