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1. (WO2018193605) 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置における条件設定方法
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国際公開番号: WO/2018/193605 国際出願番号: PCT/JP2017/015961
国際公開日: 25.10.2018 国際出願日: 21.04.2017
IPC:
H01J 37/28 (2006.01) ,H01J 37/22 (2006.01) ,H01J 37/24 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
26
電子またはイオン顕微鏡;電子またはイオン回折管
28
走査ビームを有するもの
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
22
管と関連した光学または写真装置
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
24
管の特定用途に使用されず,かつ他のどの分類にも属しない回路装置
出願人:
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者:
沼田 由起 NUMATA Yuki; JP
佐藤 博文 SATO Hirofumi; JP
川俣 茂 KAWAMATA Shigeru; JP
代理人:
ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.; 東京都中央区日本橋茅場町二丁目13番11号 13-11, Nihonbashikayabacho 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030025, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) CHARGED-PARTICLE BEAM DEVICE AND CHARGED-PARTICLE BEAM DEVICE CONDITION-SETTING METHOD
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES ET PROCÉDÉ DE RÉGLAGE D’ÉTAT DE DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置における条件設定方法
要約:
(EN) The objective of this invention is to assist in the setting of observation conditions by an operator, so as to allow an image of the intended image-quality (such as contrast) to be acquired with a charged-particle beam device, without the need for trial and error, which is based upon the experience of the operator. To this end, this charged-particle beam device comprises a stage 115 on which a sample is placed, charged particle optics for irradiating a charged particle beam onto the sample, detectors 121, 122 for detecting electrons generated by the interaction between the charged particle beam and the sample, a control unit 103 for controlling the stage and the charged particle optics according to the observation conditions set by the operator and forming an image on the basis of detection signals from the detectors, and a display 104 displaying an observation assistance screen for setting the observation conditions. The control unit displays, on an observation assistance screen 401, information 510 relating to the per-pixel amount of irradiation electrons irradiated onto the sample by the charged particle optics under the observation conditions.
(FR) L’objectif de la présente invention est de faciliter le réglage de conditions d’observation par un opérateur, de façon à permettre qu’une image de la qualité d’image souhaitée (telle que le contraste) soit acquise avec un dispositif à faisceau de particules chargées, sans nécessiter un processus d’essai et d’erreur, qui est basé sur l’expérience de l’opérateur. À cet effet, ce dispositif à faisceau de particules chargées comprend une platine 115 sur laquelle un échantillon est placé, un optique à particules chargées pour irradier un faisceau de particules chargées sur l’échantillon, des détecteurs 121, 122 pour détecter des électrons générés par l’interaction entre le faisceau de particules chargées et l’échantillon, une unité de commande 103 pour commander la platine et l’optique à particules chargées conformément aux conditions d’observation définies par l’opérateur et former une image sur la base de signaux de détection provenant des détecteurs, et un affichage 104 affichant un écran d’assistance à l’observation pour régler les conditions d’observation. L’unité de commande affiche, sur un écran d’assistance à l’observation 401, des informations 510 relatives à la quantité par pixel d’électrons d’irradiation irradiés sur l’échantillon par l’optique à particules chargées dans les conditions d’observation.
(JA) 操作者の経験に基づくトライアンドエラーに陥ることなく荷電粒子線装置にて所望の画質(コントラスト等)の画像を取得できるよう、操作者の観察条件設定を補助する。このため、試料を戴置するステージ115と、荷電粒子ビームを試料に照射する荷電粒子光学系と、荷電粒子ビームと試料との相互作用により発生する電子を検出する検出器121,122と、操作者により設定される観察条件にしたがってステージ及び荷電粒子光学系を制御し、検出器からの検出信号に基づき画像を形成する制御部103と、観察条件を設定するための観察アシスト画面を表示するディスプレイ104とを有する荷電粒子線装置であって、制御部は、観察条件において荷電粒子光学系により試料に照射される1画素あたりの照射電子量に関する情報510を、観察アシスト画面401に表示する。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)