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1. (WO2018193569) 高音圧音場の音圧分析装置及び方法、超音波洗浄機、超音波処理機
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国際公開番号: WO/2018/193569 国際出願番号: PCT/JP2017/015802
国際公開日: 25.10.2018 国際出願日: 19.04.2017
IPC:
G01H 3/08 (2006.01) ,B08B 3/12 (2006.01) ,H01L 21/304 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
H
機械振動または超音波,音波または亜音波の測定
3
流体中で検出器を作動させる振動の測定
04
周波数
08
複合振動中に存在する周波数を分析するもの,例.高調波を比較するもの
B 処理操作;運輸
08
清掃
B
清掃一般;汚れ防止一般
3
液体または蒸気の使用または存在を含む方法による清掃
04
液体との接触を含む清掃
10
液体または清掃される物の付加的処理を有するもの,例.熱,電気,振動によるもの
12
音波または超音波振動によるもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
304
機械的処理,例.研摩,ポリシング,切断
出願人:
本多電子株式会社 HONDA ELECTRONICS CO., LTD. [JP/JP]; 愛知県豊橋市大岩町小山塚20番地 20 Oyamazuka, Oiwa-cho, Toyohashi-shi, Aichi 4413193, JP
発明者:
岡田 長也 OKADA Nagaya; JP
朝倉 義幸 ASAKURA Yoshiyuki; JP
代理人:
渥美久彦 ATSUMI, Hisahiko; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) SOUND PRESSURE ANALYSIS DEVICE AND METHOD FOR HIGH-SOUND-PRESSURE SOUND FIELDS, ULTRASONIC CLEANING MACHINE, AND ULTRASONIC PROCESSING MACHINE
(FR) DISPOSITIF D'ANALYSE DE LA PRESSION ACOUSTIQUE ET PROCÉDÉ POUR CHAMPS ACOUSTIQUES À HAUTE PRESSION ACOUSTIQUE, MACHINE DE NETTOYAGE PAR ULTRASONS ET MACHINE DE TRAITEMENT PAR ULTRASONS
(JA) 高音圧音場の音圧分析装置及び方法、超音波洗浄機、超音波処理機
要約:
(EN) This sound pressure analysis device for high-sound-pressure sound fields is capable of accurately estimating a cavitation threshold and cavitation amount. This sound pressure analysis device (42) for high-sound-pressure sound fields is provided with a hydrophone (31) for outputting a voltage signal corresponding to the sound pressure of a sound field, a frequency analysis device (42), and a calculation device (23). The frequency analysis device (42) analyzes the frequency components of the sound field on the basis of the sound pressure signal from the hydrophone (31) and separates the frequency components into a fundamental frequency component, harmonic component, sub-harmonic component, and white noise component. The calculation device (23) determines, through calculation, the average sound pressure (ABP) of the white noise component within a frequency range for which there is practical sensitivity, estimates that there is a threshold for cavitation at the point where the ABP starts increasing from a value of roughly zero, and estimates the amount of cavitation from the size of the ABP.
(FR) Ce dispositif d'analyse de la pression acoustique pour champs acoustiques à haute pression acoustique est capable d'estimer avec précision le seuil de cavitation et l'intensité de cavitation. Ce dispositif d'analyse de la pression acoustique (42) pour champs acoustiques à haute pression acoustique est pourvu d'un hydrophone (31) pour émettre un signal de tension correspondant à la pression acoustique d'un champ acoustique, d'un dispositif d'analyse de la fréquence (42) et d'un dispositif de calcul (23). Le dispositif d'analyse de la fréquence (42) analyse les composantes fréquentielles du champ acoustique sur la base du signal de pression acoustique en provenance de l'hydrophone (31) et sépare les composantes fréquentielles en une composante fréquentielle fondamentale, en une composante harmonique, en une composante sous-harmonique et en une composante de bruit blanc. Le dispositif de calcul (23) détermine, par calcul, la pression acoustique moyenne (ABP) de la composante de bruit blanc au sein d'une plage de fréquences pour laquelle il existe une sensibilité pratique, estime qu'un seuil de cavitation est présent au niveau du point où l'ABP commence à augmenter à partir d'une valeur à peu près égale à zéro, et estime l'intensité de cavitation à partir de l'ampleur de l'ABP.
(JA) キャビテーション閾値及びキャビテーション発生量を正確に推定することができる高音圧音場の音圧分析装置であって、本発明の高音圧音場の音圧分析装置(42)は、音場の音圧に応答した電圧の信号を出力するハイドロホン(31)、周波数分析装置(42)、演算装置(23)を備え、周波数分析装置(42)は、ハイドロホン(31)からの電圧信号に基づいて音場の周波数成分を分析して、基本周波数成分、ハーモニック成分、サブハーモニック成分及びホワイトノイズ成分に分別し、演算装置(23)は、実用感度を有する周波数範囲におけるホワイトノイズ成分の平均音圧(ABP)を演算により求め、ABPがほぼゼロの値から増加に転じる点に、キャビテーションが発生する閾値があるものと推定し、ABPの大きさからキャビテーション発生量を推定する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)