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1. (WO2018193528) ガスレーザ装置及び磁気軸受制御方法
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国際公開番号: WO/2018/193528 国際出願番号: PCT/JP2017/015630
国際公開日: 25.10.2018 国際出願日: 18.04.2017
IPC:
H01S 3/036 (2006.01) ,F16C 32/04 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
S
誘導放出を用いた装置
3
レーザ,すなわち誘導放出を用いた赤外線,可視光あるいは紫外線の発生,増幅,変調,復調あるいは周波数変換のための装置
02
構造的な細部
03
ガスレーザ放電管
036
管の中の望ましいガス圧力を取得または維持するための手段,例.残留ガスの除去または補充;ガスを循環させるための手段,例.管の中の圧力を均等にするためのもの
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
C
軸;たわみ軸;たわみ被覆の中で運動を伝達するための機械的な手段;クランク軸機構の要素;ピボット;枢着;伝動装置,継ぎ手,クラッチまたはブレーキ要素以外の回転工学の要素;軸受
32
その他の軸受
04
磁気的または電気的な支持手段を用いるもの
出願人:
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
発明者:
三木 正晴 MIKI, Masaharu; JP
若林 理 WAKABAYASHI, Osamu; JP
代理人:
保坂 延寿 HOSAKA, Nobuhisa; 東京都千代田区神田佐久間町3‐22 神田SKビル4階 新井・橋本・保坂国際特許事務所 Arai, Hashimoto, Hosaka & Associates, Kanda SK Bldg. 4F, 3-22, Kanda Sakuma-cho, Chiyoda-ku, Tokyo 1010025, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) GAS LASER DEVICE AND MAGNETIC BEARING CONTROL METHOD
(FR) DISPOSITIF DE LASER À GAZ ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE PALIER MAGNÉTIQUE
(JA) ガスレーザ装置及び磁気軸受制御方法
要約:
(EN) This gas laser device is equipped with: a magnetic bearing containing an electromagnet, for which the magnetic force can be controlled, that supports the rotary shaft of a laser gas circulation fan so as to be rotatable in a magnetically levitated state due to the magnetic force; an electromagnet control unit controlling the magnetic force of the electromagnet on the basis of the displacement in the levitating position of the rotary shaft to adjust the levitating position; a motor generating the torque for causing the fan to rotate; a magnetic coupling for connecting the rotary shaft and the drive shaft of the motor by a magnetic attractive force to transmit the motor torque to the rotary shaft; an attractive force estimation sensor for detecting a parameter that allows the magnetic coupling attractive force to be estimated; an attractive force measurement unit for measuring the magnetic coupling attractive force on the basis of the parameter detected by the attractive force estimation sensor; and a correction unit for correcting the magnetic force of the electromagnet depending on the variation of the attractive force measured by the attractive force measurement unit.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de laser à gaz qui est équipé : d'un palier magnétique contenant un électroaimant, dont la force magnétique peut être commandée, qui soutient l'arbre rotatif d'un ventilateur de circulation de gaz laser de manière à pouvoir tourner dans un état de lévitation magnétique provoqué par la force magnétique ; d'une unité de commande d'électroaimant commandant la force magnétique de l'électroaimant sur la base du déplacement de l'arbre rotatif dans la position de lévitation afin d'adapter la position de lévitation ; d'un moteur produisant le couple permettant d'amener le ventilateur à tourner ; d'un accouplement magnétique permettant de lier l'arbre rotatif et l'arbre de commande du moteur par une force d'attraction magnétique afin de transmettre le couple de moteur à l'arbre rotatif ; d'un capteur d'estimation de force d'attraction permettant de détecter un paramètre qui permet d'estimer la force d'attraction d'accouplement magnétique ; d'une unité de mesure de force d'attraction permettant de mesurer la force d'attraction d'accouplement magnétique sur la base du paramètre détecté par le capteur d'estimation de force d'attraction ; et d'une unité de correction permettant de corriger la force magnétique de l'électroaimant en fonction de la variation de la force d'attraction mesurée par l'unité de mesure de force d'attraction.
(JA) ガスレーザ装置は、以下を備える:磁力を制御可能な電磁石を含み、レーザガスを流すファンの回転軸を磁力によって磁気浮上させた状態で回転自在に支持する磁気軸受;回転軸の浮上位置の変位に基づいて電磁石の磁力を制御して、浮上位置を調節する電磁石制御部;ファンを回転させるトルクを発生するモータ;回転軸とモータの駆動軸とを磁気による吸引力で結合して、回転軸にモータのトルクを伝達する磁気カップリング;磁気カップリングの吸引力を推定可能なパラメータを検出する吸引力推定用センサ;吸引力推定用センサによって検出されたパラメータに基づいて、磁気カップリングの吸引力を計測する吸引力計測部;及び吸引力計測部によって計測された吸引力の変動に応じて、電磁石の磁力を補正する補正部。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)