国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018190380) 炭素原子間の不飽和結合によるプラズマ硬化性化合物を含む段差基板被覆膜形成組成物

Pub. No.:    WO/2018/190380    International Application No.:    PCT/JP2018/015268
Publication Date: Fri Oct 19 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Apr 12 01:59:59 CEST 2018
IPC: G03F 7/11
G03F 7/26
H01L 21/027
Applicants: NISSAN CHEMICAL CORPORATION
日産化学株式会社
Inventors: ENDO, Takafumi
遠藤 貴文
TOKUNAGA, Hikaru
▲徳▼永 光
HASHIMOTO, Keisuke
橋本 圭祐
SAKAMOTO, Rikimaru
坂本 力丸
Title: 炭素原子間の不飽和結合によるプラズマ硬化性化合物を含む段差基板被覆膜形成組成物
Abstract:
【課題】 パターンへの充填性と平坦化性を有する被膜を形成するプラズマ硬化性段差基板被覆膜形成組成物を提供する。 【解決手段】 下記式(1-1)乃至式(1-7)で表される部分構造(I): (式中、R1、R1a、R3、R5a、及びR6aはそれぞれ独立して炭素原子数1~10のアルキレン基、炭素原子数6~40のアリーレン基(該アルキレン基及びアリーレン基は、1つ又は2つ以上のアミド基又はアミノ基で任意に置換されていても良い)、酸素原子、カルボニル基、イオウ原子、-C(O)-NRa-、-NRb-又はそれらの組み合わせからなる2価の基を表し、 R5は、それぞれ独立して、窒素原子、又は窒素原子と炭素原子数1~10のアルキレン基、炭素原子数6~40のアリーレン基(該アルキレン基及びアリーレン基は、1つ又は2つ以上のアミド基又はアミノ基で任意に置換されていても良い)、酸素原子、カルボニル基、イオウ原子、-C(O)-NRa-及び-NRb-からなる群から選択される少なくとも一つ以上の基との組み合わせからなる3価の基を表し、 R2、R2a、R4、及びR6は、それぞれ独立して水素原子、炭素原子数1~10のアルキル基、又は水素原子と、炭素原子数1~10のアルキレン基、酸素原子、カルボニル基、-C(O)-NRa-及び-NRb-からなる群から選択される少なくとも一つ以上の基との組み合わせからなる1価の基を表し、 Raは水素原子又は炭素原子数1~10のアルキル基を表し、 Rbは、水素原子、炭素原子数1~10のアルキル基又は炭素原子数1~10のアルキルカルボニル基を表し、 nは1~10の繰り返し単位数を表し、及び 点線は隣接原子との化学結合を表す。)から選ばれる少なくとも一つの部分構造を含む化合物(E)と溶剤(F)とを含むプラズマ硬化性段差基板被覆膜形成組成物。