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1. (WO2018190339) 収差補正方法及び光学装置

Pub. No.:    WO/2018/190339    International Application No.:    PCT/JP2018/015080
Publication Date: Fri Oct 19 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Apr 11 01:59:59 CEST 2018
IPC: G02B 21/00
G02F 1/01
Applicants: HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
浜松ホトニクス株式会社
Inventors: MATSUMOTO Naoya
松本 直也
Title: 収差補正方法及び光学装置
Abstract:
顕微鏡装置1Aは、変調面を有するSLM33,36と、変調面と対象物Bとの間の光路上に配置された対物レンズ12と、対象物Bの屈折率界面に起因する収差を補正するための補正パターンを含む変調パターンに基づいてSLM33,36を制御するコンピュータ43と、を備える。コンピュータ43は、対物レンズ12の光軸に垂直な平面に対する屈折率界面の傾斜情報に基づいて、変調パターンにおける補正パターンの位置を決定する。これにより、対象物の屈折率界面が光軸に対して傾斜している場合であっても収差補正を短時間で容易に行うことが可能な収差補正方法及び光学装置が実現される。