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1. (WO2018190318) 気化装置及び気化システム

Pub. No.:    WO/2018/190318    International Application No.:    PCT/JP2018/014991
Publication Date: Fri Oct 19 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Apr 11 01:59:59 CEST 2018
IPC: B01J 7/00
F17C 9/02
Applicants: HORIBA STEC, CO., LTD.
株式会社堀場エステック
Inventors: TAGUCHI, Akihiro
田口 明広
KYOYAMA, Ryoichi
姜山 亮一
Title: 気化装置及び気化システム
Abstract:
容器内に導入される液体材料を保持する保持部材を備えた気化装置において、容器内の液体材料の残量を確認できるようにする。液体材料を導入する導入口を備えた容器と、前記容器内に前記導入口から導入される前記液体材料を保持する保持部材と、前記容器内に設けられ、前記保持部材から流れ出た前記液体材料を貯留する貯留領域と、を具備する。