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1. (WO2018190257) 保持装置
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国際公開番号: WO/2018/190257 国際出願番号: PCT/JP2018/014687
国際公開日: 18.10.2018 国際出願日: 06.04.2018
IPC:
H01L 21/683 (2006.01) ,H05B 3/20 (2006.01) ,H05B 3/74 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683
支持または把持のためのもの
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
3
抵抗加熱
20
2次元の平面の表面をもつ発熱素子,例.プレートヒータ
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
3
抵抗加熱
68
特に料理板あるいは類似加熱板に適した加熱装置
74
非金属板
出願人:
日本特殊陶業株式会社 NGK SPARK PLUG CO., LTD. [JP/JP]; 愛知県名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 14-18, Takatsuji-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi 4678525, JP
発明者:
三輪 要 MIWA Kaname; JP
代理人:
特許業務法人アルファ国際特許事務所 ALPHA INTERNATIONAL PATENT FIRM; 愛知県名古屋市中区錦一丁目11番20号 大永ビルディング3F Daiei Bldg. 3F, 1-11-20, Nishiki, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi 4600003, JP
優先権情報:
2017-07740110.04.2017JP
発明の名称: (EN) HOLDING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MAINTIEN
(JA) 保持装置
要約:
(EN) The purpose of the present invention is to improve the uniformity of a temperature distribution on an attachment surface of a plate-like member by improving the accuracy of temperature measurement in each segment of the plate-like member. A holding device is provided with: a plate-like member which has a first surface substantially orthogonal to a first direction; a heating resistor and a temperature-measurement resistor which are disposed in each of a plurality of segments which are obtained by virtually dividing at least a part of the plate-like member in a direction orthogonal to the first direction; and an electricity feeding unit constituting an electrical feeding path with respect to the heating resistor and the temperature-measurement resistor. The device holds an object on the first surface of the plate-like member. The position of the temperature-measurement resistor in the first direction is different from that of the heating resistor. At least one of the temperature-measurement resistors is a specific temperature-measurement resistor which includes a plurality of series-connected layers of resistor elements which are disposed in different positions in the first direction.
(FR) L'objectif de la présente invention est d'améliorer l'uniformité d'une distribution de température sur une surface de fixation d'un élément en forme de plaque en améliorant la précision de mesure de température dans chaque segment de l'élément en forme de plaque. Un dispositif de maintien comprend : un élément en forme de plaque qui a une première surface sensiblement orthogonale à une première direction; une résistance chauffante et une résistance de mesure de température qui sont disposées dans chacun d'une pluralité de segments qui sont obtenus en divisant virtuellement au moins une partie de l'élément en forme de plaque dans une direction orthogonale à la première direction; et une unité d'alimentation en électricité constituant un trajet d'alimentation électrique par rapport à la résistance chauffante et à la résistance de mesure de température. Le dispositif maintient un objet sur la première surface de l'élément en forme de plaque. La position de la résistance de mesure de température dans la première direction est différente de celle de la résistance chauffante. Au moins une des résistances de mesure de température est une résistance de mesure de température spécifique qui comprend une pluralité de couches connectées en série d'éléments de résistance qui sont disposés dans différentes positions dans la première direction.
(JA) 板状部材の各セグメントの温度測定の精度を向上させることによって、板状部材の吸着面の温度分布の均一性を向上させる。 保持装置は、第1の方向に略直交する第1の表面を有する板状部材と、板状部材の少なくとも一部を第1の方向に直交する方向に並ぶ複数のセグメントに仮想的に分割したときの各セグメントに配置された発熱用抵抗体および測温用抵抗体と、発熱用抵抗体および測温用抵抗体に対する給電経路を構成する給電部とを備え、板状部材の第1の表面上に対象物を保持する装置である。測温用抵抗体は、第1の方向における位置が発熱用抵抗体とは異なる。少なくとも1つの測温用抵抗体である特定測温用抵抗体は、第1の方向における位置が互いに異なり、かつ、互いに直列に接続された複数層の抵抗体要素を有する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)