国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018190220) シャワーヘッド

Pub. No.:    WO/2018/190220    International Application No.:    PCT/JP2018/014406
Publication Date: Fri Oct 19 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Apr 05 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 21/31
C04B 35/581
C23C 16/455
H01L 21/205
H01L 21/3065
Applicants: SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.
住友電気工業株式会社
Inventors: KIMURA Koichi
木村 功一
MIKUMO Akira
三雲 晃
Title: シャワーヘッド
Abstract:
半導体製造装置のチャンバー内においてウエハ保持体に対向して設けられるシャワーヘッドであって、第1面と第1面とは反対側の第2面と第1面と第2面とに挟まれたベース部とを有し、複数のセラミックス粒子から構成された板状のセラミックス基体と、第1面から第2面に亘ってベース部を貫通する複数の貫通孔と、を備える。複数の貫通孔の各々の内側面の表面粗さRyは、複数のセラミックス粒子の平均粒径未満である。