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1. (WO2018190195) 電気的接続装置
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国際公開番号: WO/2018/190195 国際出願番号: PCT/JP2018/014249
国際公開日: 18.10.2018 国際出願日: 03.04.2018
IPC:
G01R 1/073 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
1
グループG01R5/00~G01R13/00またはG01R31/00に包含される型の機器または装置の細部
02
一般的な構造の細部
06
測定用導線;測定用探針
067
測定用探針
073
複合探針
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66
製造または処理中の試験または測定
出願人:
株式会社日本マイクロニクス KABUSHIKI KAISHA NIHON MICRONICS [JP/JP]; 東京都武蔵野市吉祥寺本町2丁目6番8号 6-8, Kichijojihoncho 2-chome, Musashino-shi, Tokyo 1808508, JP
発明者:
伊藤 達哉 ITO Tatsuya; JP
代理人:
三好 秀和 MIYOSHI Hidekazu; JP
松永 宣行 MATSUNAGA Nobuyuki; JP
優先権情報:
2017-07974813.04.2017JP
発明の名称: (EN) ELECTRICALLY CONNECTING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE CONNEXION ÉLECTRIQUE
(JA) 電気的接続装置
要約:
(EN) The present invention is provided with: a plurality of probes (10) of which a distal-end part comes into contact with a specimen (2) during measurement; and a space transformer (30) having a plurality of connection wirings (33) electrically connected to a base-end part of any of the plurality of probes (10), the space transformer (30) having a first terminal disposed on a first main surface (301) and a second terminal exposed on a second main surface (302), and there being formed on the first main surface a short-circuit wiring pattern in which the base-end parts of a plurality of same-potential probes, from among the plurality of probes (10), that are set to the same potential during measurement are electrically connected to the same connection wiring (33).
(FR) La présente invention comprend : une pluralité de sondes (10) dont une partie d'extrémité distale vient en contact avec un échantillon (2) pendant une mesure ; et un transformateur d'espace (30) possédant une pluralité de câblages de connexion (33) électriquement connectés à une partie d'extrémité de base de l'une quelconque de la pluralité de sondes (10), le transformateur d'espace (30) possédant une première borne disposée sur une première surface principale (301) et une seconde borne exposée sur une seconde surface principale (302), ce qui permet de former sur la première surface principale un motif de câblage de court-circuit dans lequel les parties d'extrémité de base d'une pluralité de sondes de même potentiel, parmi la pluralité de sondes (10), qui sont réglées au même potentiel pendant la mesure, sont électriquement connectées au même câblage de connexion (33).
(JA) 測定時に先端部が被検査体(2)と接触する複数のプローブ(10)と、複数のプローブ(10)のいずれかの基端部と電気的に接続される第1の端子が第1主面(301)に配置されるとともに第2の端子が第2主面(302)に露出する接続配線(33)を複数有し、複数のプローブ(10)のうちで測定時に同一電位に設定される複数の同一電位プローブの基端部を同一の接続配線(33)と電気的に接続する短絡配線パターンが第1主面に形成されたスペーストランスフォーマ(30)とを備える。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)