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1. (WO2018190160) 研磨シートおよび研磨シートを製造する方法

Pub. No.:    WO/2018/190160    International Application No.:    PCT/JP2018/013850
Publication Date: Fri Oct 19 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Mar 31 01:59:59 CEST 2018
IPC: B24D 3/00
H01L 21/301
Applicants: NANO TEM CO., LTD.
株式会社ナノテム
Inventors: TAKATA Atsushi
高田 篤
ISHIZAKI Kozo
石崎 幸三
ONODERA Norio
小野寺 徳郎
Title: 研磨シートおよび研磨シートを製造する方法
Abstract:
研磨シートは、シート状の基材と、基材の一方の面から他方の面に貫いて配置された砥粒と、を有する。砥粒は、一方の面において被研磨体に当接する先端部を同一平面に揃えて配置されているとよい。砥粒は、離間して配置され、単一粒子層を形成するとよい。砥粒の平均径は、基材の厚さの2~3倍であるとよい。研磨シートは、ダイシングブレードに適用可能であり、切断溝幅は、砥粒の平均径の1.1~1.5倍であるとよい。砥粒を同心円状に配列するとよい。