国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018190089) 洗浄水供給装置

Pub. No.:    WO/2018/190089    International Application No.:    PCT/JP2018/011100
Publication Date: Fri Oct 19 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Mar 21 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/304
C02F 1/42
C02F 1/58
Applicants: KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
栗田工業株式会社
Inventors: MORITA, Hiroshi
森田 博志
GAN, Nobuko
顔 暢子
Title: 洗浄水供給装置
Abstract:
洗浄水供給装置は、超純水が定量にて流れる超純水ライン1と、該超純水ラインに溶質を定量添加して洗浄水を製造する製造部2と、洗浄水を流すための洗浄水ライン3と、該洗浄水ライン3から洗浄水が供給される洗浄機5A~5Nと、余剰の洗浄水が洗浄水ライン3から導入される溶質除去部4と、溶質が除去された回収水をタンク等へ戻すための回収ライン6を有する。