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1. (WO2018190085) ウエハ加工用粘着シート

Pub. No.:    WO/2018/190085    International Application No.:    PCT/JP2018/010950
Publication Date: Fri Oct 19 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Mar 21 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/301
C09J 7/20
C09J 11/06
C09J 201/00
Applicants: NITTO DENKO CORPORATION
日東電工株式会社
Inventors: MIZUNO, Koji
水野浩二
TAKAHASHI, Tomokazu
▲高▼橋智一
KAMEI, Katsutoshi
亀井勝利
Title: ウエハ加工用粘着シート
Abstract:
本発明のウエハ加工用粘着シート10は、可塑剤を含有するポリオレフィン系基材たる基材11と、可塑剤を含有する粘着剤層12とを含む積層構造を有する。粘着剤層12における可塑剤の含有量は、粘着剤層12中の粘着剤100質量部に対して例えば1~100質量部である。このようなウエハ加工用粘着シートは、ウエハダイシング時に生ずるダストの加工対象物への付着を抑制するのに適する。