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1. (WO2018190074) 気化装置及び気化システム

Pub. No.:    WO/2018/190074    International Application No.:    PCT/JP2018/010421
Publication Date: Fri Oct 19 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Mar 17 00:59:59 CET 2018
IPC: B01J 7/00
Applicants: HORIBA STEC, CO., LTD.
株式会社堀場エステック
Inventors: TAGUCHI, Akihiro
田口 明広
KYOYAMA, Ryoichi
姜山 亮一
Title: 気化装置及び気化システム
Abstract:
容器内の液体材料の液面を精度良く検出することができるようにすべく、液体材料Xを収容する容器10と、容器10内の液体材料Xを加熱するヒータ30と、容器10内の液体材料の液面を検出する液面センサ20とを具備し、容器10内を上方から視て、液体材料Xが気化される気化領域S1と、気化領域S1とは異なる液面安定領域S2とが形成されるように構成されており、液面センサ20が、液面安定領域S2における液体材料Xの液面を検出するようにした。