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1. (WO2018189906) 有機EL表示装置の製造方法及び製造装置

Pub. No.:    WO/2018/189906    International Application No.:    PCT/JP2017/015381
Publication Date: Fri Oct 19 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Apr 15 01:59:59 CEST 2017
IPC: H05B 33/10
C23C 14/24
H01L 27/32
H01L 51/50
Applicants: SAKAI DISPLAY PRODUCTS CORPORATION
堺ディスプレイプロダクト株式会社
Inventors: KISHIMOTO, Katsuhiko
岸本 克彦
Title: 有機EL表示装置の製造方法及び製造装置
Abstract:
一実施形態の有機EL表示装置の製造方法は、蒸着源と対向する面に改質処理が施された(S2)蒸着マスクの一面に支持基板が装着され(S3)、蒸着マスクに向かって所望の有機材料を飛散させることで支持基板の所望の場所に複数層からなる有機層が積層され(S4)、有機層の上に第2電極が形成される(S8)。そして、複数層からなる有機層の積層の前、複数層からなる有機層の各有機層の積層の前又は後、及び前記第2電極の形成の前の少なくとも1つのタイミングで、蒸着マスクの露出面又は蒸着マスクに形成された有機層の露出面が改質される。