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1. (WO2018189900) 光照射装置
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国際公開番号: WO/2018/189900 国際出願番号: PCT/JP2017/015364
国際公開日: 18.10.2018 国際出願日: 14.04.2017
IPC:
H01L 21/20 (2006.01) ,H01L 21/268 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
20
基板上への半導体材料の析出,例.エピタキシャル成長
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
26
波または粒子の輻射線の照射
263
高エネルギーの輻射線を有するもの
268
電磁波,例.レーザ光線,を用いるもの
出願人:
堺ディスプレイプロダクト株式会社 SAKAI DISPLAY PRODUCTS CORPORATION [JP/JP]; 大阪府堺市堺区匠町1番地 1, Takumi-cho, Sakai-ku, Sakai-shi, Osaka 5908522, JP
発明者:
加藤 真裕 KATO, Masahiro; JP
今西 康太 IMANISHI, Kota; JP
代理人:
鮫島 睦 SAMEJIMA, Mutsumi; JP
山崎 敏行 YAMASAKI, Toshiyuki; JP
前堀 義之 MAEHORI, Yoshiyuki; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) LIGHT IRRADIATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ÉMISSION DE LUMIÈRE
(JA) 光照射装置
要約:
(EN) This light irradiation device 1 is equipped with a conveyance unit 20 for conveying a board, a light source 30, a first imaging unit 50a, a second imaging unit 50b, a drive unit 46, a controller 60, an optical path correction unit 43·46, and an optical path blocking unit 80. The controller 60 is equipped with: a first computation unit 61 for calculating a first correction value C1 on the basis of an image captured by the first imaging unit 50a; a first optical path control unit 65 for controlling the optical path correction unit 43·46 on the basis of the first correction value C1; a second computation unit 62 for calculating a second correction value C2 on the basis of an image captured by the second imaging unit 50b; and a second optical path control unit 66 for controlling the optical path blocking unit 80 on the basis of the second correction value C2. As a result, the accuracy with which the light irradiation device 1 irradiates light with respect to wires upon the board is improved.
(FR) La présente invention concerne un dispositif d'émission de lumière (1) qui comprend : une unité de transport (20) destinée à transporter une carte, une source de lumière (30), une première unité d'imagerie (50a), une seconde unité d'imagerie (50b), une unité d'entraînement (46), un dispositif de commande (60), une unité de correction de trajet optique (43, 46), et une unité de blocage de trajet optique (80). Le dispositif de commande (60) est équipé : d'une première unité de calcul (61) pour calculer une première valeur de correction C1 sur la base d'une image capturée par la première unité d'imagerie (50a) ; une première unité de commande de trajet optique (65) pour commander l'unité de correction de trajet optique (43, 46) sur la base de la première valeur de correction C1 ; une seconde unité de calcul (62) pour calculer une seconde valeur de correction C2 sur la base d'une image capturée par la seconde unité d'imagerie (50b) ; et une seconde unité de commande de trajet optique (66) pour commander l'unité de blocage de trajet optique (80) sur la base de la seconde valeur de correction C2. Par conséquent, la précision avec laquelle le dispositif d'émission de lumière (1) émet de la lumière par rapport aux fils sur la carte est améliorée.
(JA) 光照射装置1は、基板を搬送する搬送部20と、光源30と、第1撮像部50aと、第2撮像部50bと、駆動部46と、コントローラ60と、光路補正ユニット43・46と、光路遮断ユニット80とを備える。コントローラ60は、第1撮像部50aによって撮像した画像に基づいて第1補正値C1を算出する第1演算部61と、第1補正値C1に基づいて光路補正ユニット43・46を制御する第1光路制御部65と、第2撮像部50bによって撮像した画像に基づいて第2補正値C2を算出する第2演算部62と、第2補正値C2に基づいて光路遮断ユニット80を制御する第2光路制御部66とを備える。これにより、光照射装置1による基板の上の配線への光の照射精度を向上させている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)