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1. (WO2018189850) 電子顕微鏡
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2018/189850 国際出願番号: PCT/JP2017/015072
国際公開日: 18.10.2018 国際出願日: 13.04.2017
IPC:
H01J 37/141 (2006.01) ,H01J 37/22 (2006.01) ,H01J 37/26 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
04
電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品,例.電子光学装置,イオン光学装置
10
レンズ
14
磁気的なもの
141
電磁レンズ
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
22
管と関連した光学または写真装置
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
26
電子またはイオン顕微鏡;電子またはイオン回折管
出願人:
株式会社 日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
発明者:
長沖 功 NAGAOKI Isao; JP
田村 圭司 TAMURA Keiji; JP
藤井 孝史 FUJII Takashi; JP
小林 隆幸 KOBAYASHI Takayuki; JP
影山 甲子男 KAGEYAMA Kaneo; JP
和田 勉 WADA Tsutomu; JP
三瀬 大海 MISE Hiromi; JP
広田 暁哉 HIROTA Toshiya; JP
稲田 宏 INADA Hiroshi; JP
上ノ内 拓 KAMINOUCHI Taku; JP
代理人:
戸田 裕二 TODA Yuji; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) ELECTRON MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE À ÉLECTRONS
(JA) 電子顕微鏡
要約:
(EN) Conventionally, in order to observe the entirety of a sample, the objective lens current is lowered to 1/6 of the current value used normally, reducing the magnetic field in the vicinity of the sample and achieving 50-fold magnification. Because of this, when a normally used observation magnification is set, the rising current is a factor in the occurrence of sample drift. In order to solve the problem, an electron microscope is provided, comprising an electron source irradiating an electron beam onto a sample, and a detector detecting electrons arising from the sample due to the electron beam irradiation, characterized in that, in the electron microscope, an upper objective lens coil and a lower objective lens coil are provided above and below the sample, the polarities of the upper objective lens coil and the lower objective lens coil being inverted with respect to one another.
(FR) Conventionnellement, afin d'observer la totalité d'un échantillon, le courant de lentille d'objectif est abaissé à 1/6 de la valeur de courant utilisée normalement, réduisant le champ magnétique à proximité de l'échantillon et atteignant un grossissement de 50 fois. Du fait de cela, lorsqu'un grossissement d'observation normalement utilisé est défini, le courant montant est un facteur dans l'apparition d'une dérive d'échantillon. Afin de résoudre le problème, l'invention concerne un microscope électronique comprenant une source d'électrons rayonnant un faisceau d'électrons sur un échantillon, et un détecteur détectant des électrons provenant de l'échantillon en raison du rayonnement par faisceau d'électrons, caractérisé en ce que, dans le microscope électronique, une bobine de lentille d'objectif supérieure et une bobine de lentille d'objectif inférieure sont disposées au-dessus et au-dessous de l'échantillon, les polarités de la bobine de lentille d'objectif supérieure et de la bobine de lentille d'objectif inférieure étant inversées l'une par rapport à l'autre.
(JA) 従来は、試料全体を見る場合は、対物レンズ電流を通常使用する電流値の1/6程度に下げて試料近傍に磁場を小さくして50倍を実現していた。このため、通常使用する観察倍率にすると電流が増加して試料ドリフトが発生する要因となっていた。 上記課題を解決するため、試料に電子線を照射する電子源と、電子線の照射により試料から発生する電子を検出する検出器を備えた電子顕微鏡において、試料の上下に上対物レンズコイルおよび下対物レンズコイルを備え、上対物レンズコイルと下対物レンズコイルの極性は反転していることを特徴とする電子顕微鏡を提供する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)