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1. (WO2018189828) ガルバノミラー、ガルバノミラーを用いたガルバノスキャナ、ガルバノミラーを用いたレーザ加工機及びガルバノミラーの製造方法

Pub. No.:    WO/2018/189828    International Application No.:    PCT/JP2017/014986
Publication Date: Fri Oct 19 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Apr 13 01:59:59 CEST 2017
IPC: G02B 26/10
B23K 26/082
B41J 2/47
G02B 5/08
G02B 26/08
H04N 1/113
Applicants: MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
三菱電機株式会社
Inventors: KUME, Masami
久米 将実
KUMADA, Teruhiko
熊田 輝彦
ITO, Yohei
伊藤 洋平
KOBAYASHI, Hiroki
小林 広紀
Title: ガルバノミラー、ガルバノミラーを用いたガルバノスキャナ、ガルバノミラーを用いたレーザ加工機及びガルバノミラーの製造方法
Abstract:
ガルバノミラー(10)は、鏡面を有するミラーサーフェイス部(10A)と、鏡面の裏面側に接合される背面補強部(12)とを有し、ミラーサーフェイス部(10A)を単結晶SiCウェハにより構成し、背面補強部(12)をC/SiC材により形成する。 これにより、ミラーサーフェイス部の剛性を高めるとともに、ミラーサーフェイス部を薄くし、ミラーサーフェイス部の背面補強部を軽量化する。これにより、ガルバノミラーの共振周波数を高め、高速に移動させても、高精度で歪みにくいガルバノミラーを得る。