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1. (WO2018189817) 露光装置

Pub. No.:    WO/2018/189817    International Application No.:    PCT/JP2017/014880
Publication Date: Fri Oct 19 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Apr 12 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/027
G03F 7/20
H01J 37/305
Applicants: ADVANTEST CORPORATION
株式会社アドバンテスト
Inventors: SHIMIZU Youichi
清水 陽一
TANAKA Hitoshi
田中 仁
Title: 露光装置
Abstract:
電子ビームの電子ビームの光学系の変動を低減させ、また、真空漏れを防止するマルチビーム露光装置。内部が真空状態となるように減圧される鏡筒と、鏡筒内に設けられ、鏡筒の延伸方向に複数の荷電粒子ビームを放出する複数の荷電粒子ビーム源と、鏡筒内において複数の荷電粒子ビームのそれぞれに対応して設けられ、各荷電粒子ビームをそれぞれ制御する複数の電磁光学素子と、鏡筒内において延伸方向に互いに離間して配置され、互いの間の少なくとも一部に非真空空間を形成する第1隔壁および第2隔壁と、鏡筒内に設けられ、複数の電磁光学素子を支持して位置決めする支持部と、を備える露光装置を提供する。