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1. (WO2018186494) 感光性樹脂組成物

Pub. No.:    WO/2018/186494    International Application No.:    PCT/JP2018/014771
Publication Date: Fri Oct 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Apr 07 01:59:59 CEST 2018
IPC: G03F 7/022
G03F 7/004
G03F 7/023
G03F 7/20
H01L 51/50
H05B 33/02
H05B 33/10
H05B 33/12
H05B 33/22
Applicants: SHOWA DENKO K.K.
昭和電工株式会社
Inventors: FURUE, Kentaro
古江 健太郎
MIYAISHI, Yuki
宮石 由起
NAKAMURA, Shiyuko
中村 梓友子
Title: 感光性樹脂組成物
Abstract:
高感度の黒色ポジ型感光性樹脂組成物を提供する。 本発明の感光性樹脂組成物は、(A)バインダー樹脂、(B)フェノール性水酸基を3つ以上有するフェノール化合物(以下「3価以上のフェノール化合物」ということがある。)のキノンジアジド付加体、及び(C)黒色着色剤を含み、(B)キノンジアジド付加体は、(b1)3価以上のフェノール化合物が有するフェノール性水酸基のうちの1つの水酸基が式(I)又は式(II)で示される構造で置換されているキノンジアジド付加体、及び(b2)3価以上のフェノール化合物が有するフェノール性水酸基のうちの2つの水酸基が式(I)又は式(II)で示される構造で置換されているキノンジアジド付加体を含み、(b1)及び(b2)の合計が(B)全体の60モル%以上である。なお、式中のRa~Rd、*は明細書に記載の通りである。