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1. (WO2018186311) TFT基板、TFT基板を備えた走査アンテナ、およびTFT基板の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/186311    International Application No.:    PCT/JP2018/013899
Publication Date: Fri Oct 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Mar 31 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 29/786
H01Q 3/44
H01Q 13/22
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA
シャープ株式会社
Inventors: MISAKI Katsunori
美崎 克紀
Title: TFT基板、TFT基板を備えた走査アンテナ、およびTFT基板の製造方法
Abstract:
TFT基板(105A)は、誘電体基板(1)と、誘電体基板上に配列された複数のアンテナ単位領域(U)とを有する。複数のアンテナ単位領域のそれぞれは、TFT(10)と、TFTのドレイン電極(7D)に電気的に接続されたパッチ電極(7PE)とを有する。TFT基板は、TFTのソース電極(7S)、ドレイン電極、ソース電極に接続されたソースバスライン(SL)、およびパッチ電極を含むソースメタル層(7)と、ソースメタル層上に形成され、TFTのゲート電極(3G)およびゲート電極に接続されたゲートバスライン(GL)を含むゲートメタル層(3)と、ソースメタル層とゲートメタル層との間に形成されたゲート絶縁層(4)と、ゲートメタル層上に形成された導電層(19)とを有し、ゲートメタル層と導電層との間に絶縁層を有しない。