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1. (WO2018186308) 球状結晶性シリカ粒子およびその製造方法
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国際公開番号: WO/2018/186308 国際出願番号: PCT/JP2018/013881
国際公開日: 11.10.2018 国際出願日: 30.03.2018
IPC:
C01B 33/18 (2006.01) ,H01L 23/29 (2006.01)
C 化学;冶金
01
無機化学
B
非金属元素;その化合物
33
けい素;その化合物
113
酸化けい素;その水和物
12
シリカ;その水和物,例.うろこ状けい酸
18
ゾル状でもゲル状でもない微粉状のシリカの製造;その後処理
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
23
半導体または他の固体装置の細部
28
封緘,例.封緘層,被覆
29
材料に特徴のあるもの
出願人:
日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 NIPPON STEEL CHEMICAL & MATERIAL CO., LTD. [JP/JP]; 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 13-1, Nihonbashi 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030027, JP
発明者:
佐藤 裕 SATO, Yutaka; JP
矢木 克昌 YAGI, Katsumasa; JP
田中 睦人 TANAKA, Mutsuhito; JP
徳田 尚三 TOKUDA, Shozo; JP
阿江 正徳 AE, Masanori; JP
代理人:
青木 篤 AOKI, Atsushi; JP
三橋 真二 MITSUHASHI, Shinji; JP
福地 律生 FUKUCHI, Norio; JP
齋藤 学 SAITO, Manabu; JP
堂垣 泰雄 DOGAKI, Yasuo; JP
優先権情報:
2017-07553505.04.2017JP
発明の名称: (EN) SPHERICAL CRYSTALLINE SILICA PARTICLES AND METHOD FOR PRODUCING SAME
(FR) PARTICULES SPHÉRIQUES DE SILICE CRISTALLINE ET LEUR PROCÉDÉ DE PRODUCTION
(JA) 球状結晶性シリカ粒子およびその製造方法
要約:
(EN) Provided are: spherical crystalline silica particles which ensure higher productivity and lower production costs than conventional ones, contain plenty of quartz having high thermal conductivity, have high fluidity, high dispersibility, high filling property, and low abrasion property, and are also applicable to semiconductor field; and a method for producing the spherical crystalline silica particles. The crystalline silica particles are characterized in that with respect to the total mass of the particles, the content of a crystal phase is at least 90 mass% and the content of a quartz crystal is at least 70 mass%. In addition, at least one kind of alkali metals may be contained in an amount of 0.4-5 mass% in terms of oxides, with respect to the total mass of the particles. Furthermore, at least one kind of alkaline earth metals may be contained in an amount of 1-5 mass% in terms of oxides, with respect to the total mass of the particles.
(FR) L'invention concerne : des particules sphériques de silice cristalline dont la productivité est plus élevée et les coûts de production plus faibles que ceux des particules classiques, qui contiennent beaucoup de quartz à conductivité thermique élevée, qui présentent une fluidité élevée, une grande dispersibilité, une capacité de remplissage élevée et qui sont faiblement abrasives, et qui sont également applicables au domaine des semi-conducteurs; et un procédé de production de ces particules sphériques de silice cristalline. Ces particules de silice cristalline sont caractérisées en ce que, par rapport à la masse totale des particules, la teneur en phase cristalline est au moins égale à 90 % en masse et la teneur en cristal de quartz est au moins égale à 70 % en masse. De plus, au moins un type de métal alcalin peut être présent à raison de 0,4 à 5 % en masse en termes d'oxydes, par rapport à la masse totale des particules. En outre, au moins un type de métal alcalino-terreux peut être présent à raison de 1 à 5 % en masse en termes d'oxydes, par rapport à la masse totale des particules.
(JA) 従来よりも生産性が高く、製造コストは低く、且つ高熱伝導率の石英を多く含む、高流動性、高分散性、高充填性、低摩耗性を有し、半導体分野にも適用可能な、球状結晶性シリカ粒子およびその製造方法を提供すること。 結晶相が全体の90質量%以上であり、石英結晶が全体の70質量%以上であることを特徴とする、球状結晶性シリカ粒子。また、粒子全体に対して、アルカリ金属の少なくとも1種を酸化物換算で0.4~5質量%含んでもよい。更にまた、粒子全体に対して、アルカリ土類金属の少なくとも1種を酸化物換算で1~5質量%含んでもよい。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)