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1. (WO2018186058) X線用金属グリッド、X線撮像装置、及びX線用金属グリッドの製造方法

Pub. No.:    WO/2018/186058    International Application No.:    PCT/JP2018/007243
Publication Date: Fri Oct 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Feb 28 00:59:59 CET 2018
IPC: G01T 7/00
A61B 6/00
A61B 6/06
G01N 23/20
G21K 1/06
Applicants: HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
浜松ホトニクス株式会社
Inventors: KOTANI Masahiro
小谷 政弘
KAWAKAMI Hiroki
川上 博己
Title: X線用金属グリッド、X線撮像装置、及びX線用金属グリッドの製造方法
Abstract:
金属グリッドは、湾曲した主面を有する部材と、該部材の主面上に形成された陽極酸化被膜と、陽極酸化被膜に周期的に形成された凹凸形状を含む格子構造と、を備える。また、金属グリッドの製造方法は、部材の主面上にバルブ金属膜を形成する工程と、主面が湾曲した状態でバルブ金属膜の陽極酸化処理を行って陽極酸化被膜を形成する工程と、周期的な開口を有するエッチングマスクを陽極酸化被膜の表面上に形成し、開口を介して陽極酸化被膜をエッチングすることにより、周期的な凹凸形状を含む格子構造を陽極酸化被膜に形成する工程と、を含む。