このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2018186021) 天井搬送車システム及びティーチングユニット
Document

明 細 書

発明の名称 天井搬送車システム及びティーチングユニット

技術分野

0001  

背景技術

0002  

先行技術文献

特許文献

0003  

発明の概要

発明が解決しようとする課題

0004   0005  

課題を解決するための手段

0006   0007   0008   0009   0010   0011   0012   0013  

発明の効果

0014  

図面の簡単な説明

0015  

発明を実施するための形態

0016   0017   0018   0019   0020   0021   0022   0023   0024   0025   0026   0027   0028   0029   0030   0031   0032   0033   0034   0035   0036   0037   0038   0039   0040   0041   0042   0043   0044   0045   0046   0047   0048   0049   0050  

符号の説明

0051  

請求の範囲

1   2   3   4   5   6  

図面

1   2   3   4   5   6   7   8   9   10  

明 細 書

発明の名称 : 天井搬送車システム及びティーチングユニット

技術分野

[0001]
 本発明の一側面は、天井搬送車システム及びティーチングユニットに関する。

背景技術

[0002]
 従来の天井搬送車システムとして、被搬送物を搬送する天井搬送車と、被搬送物が載置される移載部へ天井搬送車により被搬送物を移載する際のティーチングに用いられるティーチングユニットと、を備えたシステムが知られている(例えば特許文献1参照)。このような天井搬送車システムでは、ティーチングユニットのフランジ部が、天井搬送車の昇降部で昇降される保持部に保持される。ティーチングユニットには、移載部の位置決め部材に接触させて位置決め部材の位置を検出するタッチパネル等の検出部が設けられている。

先行技術文献

特許文献

[0003]
特許文献1 : 特許第3479969号公報

発明の概要

発明が解決しようとする課題

[0004]
 上述したような天井搬送車システムでは、ティーチング時にティーチングユニットの検出部を位置決め部材に接触させた際、当該接触によって加わる衝撃荷重等に起因してティーチングユニットが上下動し、フランジ部が保持部から離れたりずれたり等するおそれがある。この場合、正確にティーチングを行うことが困難になる。
[0005]
 そこで、本発明の一側面は、ティーチングユニットのフランジ部を確実に保持し、正確にティーチングを行うことが可能な天井搬送車システム及びティーチングユニットを提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0006]
 本発明の一側面に係る天井搬送車システムは、被搬送物を搬送する天井搬送車と、被搬送物が載置される移載部へ天井搬送車により被搬送物を移載する際のティーチングに用いられるティーチングユニットと、を備え、ティーチングユニットは、移載部に設置された位置決め部材に接触することで当該位置決め部材の位置を検出する検出部を有するユニット本体部と、ユニット本体部に対して昇降自在に設けられ、天井搬送車の昇降部により昇降される保持部に保持されるフランジ部と、を有する。
[0007]
 この天井搬送車システムでは、保持部で保持されるフランジ部が、ユニット本体部に対して昇降自在に設けられている。よって、ティーチング時にティーチングユニットの検出部を位置決め部材に接触させた際、当該接触によってティーチングユニットに衝撃荷重が加わったとしても、保持部とフランジ部とが離れたりずれたりすることを抑制できる。したがって、ティーチングユニットのフランジ部を確実に保持し、正確にティーチングを行うことが可能となる。
[0008]
 本発明の一側面に係る天井搬送車システムは、保持部によりフランジ部が保持されている状態において、保持部に対するユニット本体部の相対的な上昇動作を検出する動作検出部と、動作検出部の検出結果に基づいて、ティーチングユニットが位置決め部材に載置され且つ位置決め部材がティーチングユニットの重量を受け持つ状態であることを認識する認識部と、を備えていてもよい。この構成によれば、ティーチング時において、ティーチングユニットが位置決め部材に完全に載置された状態(いわゆる、ティーチングレベル)に達したことを認識できる。
[0009]
 本発明の一側面に係る天井搬送車システムでは、動作検出部は、保持部に昇降自在に設けられ、ユニット本体部に接触すると共に、当該ユニット本体部の上昇に連動して保持部に対して相対的に上昇する被検出部材と、保持部に対する被検出部材の相対的な上昇を検出するセンサと、を有していてもよい。この場合、簡易な構成でティーチングレベルを認識することができる。
[0010]
 本発明の一側面に係る天井搬送車システムでは、フランジ部は、ユニット本体部に対して可動機構を介して一定範囲内で昇降自在に設けられていてもよい。この場合、可動機構を利用して、ユニット本体部に対するフランジ部の昇降自在な構成を具体的に実現できる。
[0011]
 本発明の一側面に係るティーチングユニットは、被搬送物を搬送する天井搬送車を備える天井搬送車システムにおいて、被搬送物が載置される移載部へ天井搬送車により被搬送物を移載する際のティーチングに用いられるティーチングユニットであって、移載部に設置された位置決め部材に接触することで当該位置決め部材の位置を検出する検出部を有するユニット本体部と、ユニット本体部に対して昇降自在に設けられ、天井搬送車の昇降部により昇降される保持部に保持されるフランジ部と、を有する。
[0012]
 このティーチングユニットにおいても、天井搬送車の昇降部により昇降される保持部で保持されるフランジ部が、ユニット本体部に対して昇降自在に設けられている。よって、ティーチング時において位置決め部材にティーチングユニットの検出部を接触させた際、当該接触によってティーチングユニットに衝撃荷重が加わったとしても、保持部とフランジ部とが離れたりずれたりすることを抑制できる。したがって、ティーチングユニットのフランジ部を確実に保持し、正確にティーチングを行うことが可能となる。
[0013]
 本発明の一側面に係るティーチングユニットでは、天井搬送車システムは、保持部によりフランジ部が保持されている状態において保持部に対するユニット本体部の相対的な上昇動作を検出する動作検出部を備え、動作検出部は、保持部に昇降自在に設けられ、ユニット本体部に接触すると共に、当該ユニット本体部の上昇に連動して保持部に対して相対的に上昇する被検出部材と、保持部に対する被検出部材の相対的な上昇を検出するセンサと、を有しており、ユニット本体部には、動作検出部の被検出部材と接触する接触部材が立設されていてもよい。この構成によれば、ティーチング時において接触部材を動作検出部の被検出部材と接触させることにより、保持部に対するユニット本体部の相対的な上昇動作を動作検出部により検出できる。動作検出部の検出結果に基づいて、ティーチング時にティーチングユニットがティーチングレベルに達したことを認識可能となる。

発明の効果

[0014]
 本発明の一側面によれば、ティーチングユニットのフランジ部を確実に保持し、正確にティーチングを行うことが可能な天井搬送車システム及びティーチングユニットを提供することが可能になる。

図面の簡単な説明

[0015]
[図1] 図1は、一実施形態に係る天井搬送車システムを示す図である。
[図2] 図2は、図1のティーチングユニットを上方から見た斜視図である。
[図3] 図3は、図1のティーチングユニットの内部を示す斜視図である。
[図4] 図4は、図1のティーチングユニットを下方から見た斜視図である。
[図5] 図5(a)は、図1のティーチングユニットにおいてフランジ部が上限位置に位置するときの可動機構を示す斜視図である。図5(b)は、図1のティーチングユニットにおいてフランジ部が下限位置に位置するときの可動機構を示す斜視図である。
[図6] 図6(a)は、通常時におけるティーチングユニットの保持状態を説明する断面図である。図6(b)は、上下動時におけるティーチングユニットの保持状態を説明する断面図である。
[図7] 図7は、図1のティーチングユニットの動作検出部を示す断面図である。
[図8] 図8は、図1のターゲットプレートを示す斜視図である。
[図9] 図9(a)は、図1の天井搬送車システムで実施されるティーチングを説明する図である。図9(b)は、図9(a)の続きを示す図である。
[図10] 図10(a)は、図9(b)の続きを示す図である。図10(b)は、図10(a)の続きを示す図である。

発明を実施するための形態

[0016]
 以下、実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。「上」及び「下」の語は、鉛直方向の上方及び下方にそれぞれ対応する。
[0017]
 図1に示されるように、天井搬送車システム1は、走行レール2と、天井搬送車10と、を備える。走行レール2は、例えば、半導体デバイスが製造されるクリーンルーム内の天井付近に敷設されている。天井搬送車10は、走行レール2に沿って走行し、例えば、レチクルポッドを被搬送物として搬送すると共に、ロードポート(移載部)3において被搬送物の移載を行う。ロードポート3は、例えば、半導体ウェハに各種処理を施す処理装置に設けられている。以下、天井搬送車10の走行方向に平行な方向をX方向とし、水平面に平行且つ天井搬送車10の走行方向に垂直な方向をY方向とし、鉛直方向に平行な方向をZ方向とする。
[0018]
 天井搬送車10は、走行部11と、横送り部12と、回動部13と、昇降部14と、保持部15と、コントローラ16と、を備える。走行部11は、走行レール2に沿って敷設された高周波電流線から無接触で電力の供給を受けることで、走行レール2に沿って走行する。横送り部12は、回動部13、昇降部14及び保持部15をY方向に沿って移動させる。回動部13は、昇降部14及び保持部15を水平面内において回動させる。昇降部14は、下端部に保持部15が取り付けられた複数本のベルト14aを繰り出し又は巻き取ることで、ロードポート3に対して保持部15を昇降させる。保持部15は、一対の爪部材15aを有する。保持部15は、一対の爪部材15aを開閉させることにより、被搬送物を保持する。
[0019]
 コントローラ16は、天井搬送車10の各部の動作を制御する。コントローラ16は、設定された移載条件に基づき天井搬送車10の動作を制御し、ロードポート3へ被搬送物を移載させる。移載条件は、被搬送物をロードポート3へ移載するための制御パラメータである。例えば移載条件は、被搬送物をロードポート3への移載時における、保持部15のX方向、Y方向及びZ方向における各位置と、保持部15の水平面内の回転方向における位置であるθ方向位置と、を含んでいてもよい。また、例えば移載条件は、被搬送物をロードポート3への移載時における、走行部11のX方向位置(走行部11の駆動量)と、回動部13、昇降部14及び保持部15のY方向位置(横送り部12の駆動量)と、昇降部14及び保持部15のθ方向位置(回動部13の駆動量)と、保持部15のZ方向位置(昇降部14の駆動量)と、を含んでいてもよい。移載条件は、コントローラ16に記載されている。移載条件としては特に限定されず、その他のパラメータを含んでいてもよい。
[0020]
 天井搬送車システム1では、天井搬送車10によりロードポート3へ被搬送物を移載する際の移載条件のティーチングを実施する。ティーチングとは、天井搬送車10がロードポート3において被搬送物の移載を行うために走行部11が走行レール2の所定位置に停止して保持部15が所定距離下降させられた状態で、保持部15の位置が目標位置からどれだけずれるかを知得し、天井搬送車システム1の稼働時に目標位置からのずれがなくなるように、天井搬送車10に実施すべき動作を記憶させることである。天井搬送車システム1は、ティーチングに用いられるティーチングユニット20及びターゲットプレート30を備える。
[0021]
 図2~図4に示されるように、ティーチングユニット20は、ユニット本体部21と、フランジ部22と、可動機構23と、接触部材24と、減速開始用センサ25と、ユニットコントローラUCと、を備える。ここでのティーチングユニット20は、レチクルポッド用のユニットである。ティーチングユニット20は、レチクルポッドと同等のサイズを有する。
[0022]
 ユニット本体部21は、矩形箱状の外径を呈する。ユニット本体部21は、蓋部21a及び底板21bを有する。蓋部21aは、底板21bに対して取付け及び取外し可能に構成されている。ユニット本体部21は、底板21bの下面に並設されたタッチパネル(検出部)26a,26bを含む。タッチパネル26a,26bは、ロードポート3に設置されたターゲットプレート30の位置決めピン32(図1参照)の先端に接触することで当該位置決めピン32の位置を検出する。タッチパネル26a,26bは、底板21bの下面に沿ったタッチ面を有する。底板21bの下面には、タッチパネル26a,26bに接触する位置決めピン32とは別の位置決めピン32に当接する当接部分として、矩形状に浅く凹む凹部27が形成されている。
[0023]
 フランジ部22は、天井搬送車10の昇降部14で昇降される保持部15に保持される(図1参照)。フランジ部22は、底板21bと平行な矩形枠板状を呈する。フランジ部22は、ティーチングユニット20の上部中央に配置されている。フランジ部22は、可動機構23を介して、一定範囲内で昇降自在に底板21bに固定されている。
[0024]
 可動機構23は、底板21b上における所定方向の一方側及び他方側に設けられている。図5に示されるように、可動機構23は、レール23a及び昇降ブロック23bを含むリニアガイド機構である。レール23aは、底板21b上に立設されている。昇降ブロック23bは、レール23aに沿って昇降する。昇降ブロック23bは、レール23aの外側に当該レール23aの長手方向に沿って摺動可能に取り付けられている。昇降ブロック23bは、フランジ部22の下面に固定されている。
[0025]
 レール23aには、当該レール23aの側方(図5の左右方向の一方)に向かって突出するように延びる上方規制部29a及び下方規制部29bが設けられている。上方規制部29a及び下方規制部29bは、上下方向に一定長離間して設けられている。昇降ブロック23bの下部には、レール23aの内側に向かって突出するストッパ28が設けられている。ストッパ28は、上方規制部29a及び下方規制部29bの間に位置する。
[0026]
 これにより、昇降ブロック23bがレール23aに沿って上昇し、昇降ブロック23bが上方規制部29aに接触した場合、それ以上の昇降ブロック23bの上昇が規制され、昇降ブロック23bが上限位置に位置する(図5(a)参照)。一方、昇降ブロック23bがレール23aに沿って下降し、昇降ブロック23bが下方規制部29bに接触した場合、それ以上の昇降ブロック23bの下降が規制され、昇降ブロック23bが下限位置に位置する(図5(b)参照)。このような可動機構23によれば、フランジ部22は、ユニット本体部21に対して、上方規制部29a及び下方規制部29bが離間する一定長に応じた一定範囲内で昇降自在に設けられる。
[0027]
 図3に示されるように、接触部材24は、支柱24a及びユニット側接触部24bを有する。支柱24aは、底板21bの中央部に立設されている。ユニット側接触部24bは、支柱24aの先端に設けられ、当該支柱24aの軸方向を厚さ方向とする板部材である。ユニット側接触部24bは、後述の被検出部材41(図7参照)に接触する。
[0028]
 図1及び図3に示されるように、減速開始用センサ25は、昇降部14により保持部15を下降させてティーチングユニット20をターゲットプレート30に接近させる際、その速度を減速させる開始タイミングを検知するセンサである。減速開始用センサ25は、ターゲットプレート30との間の距離が所定距離以下になった場合、コントローラ16へON信号を出力する。減速開始用センサ25としては、特に限定されず、種々の距離センサを用いることができる。
[0029]
 ユニットコントローラUCは、ティーチングユニット20の各種機能を制御する制御部である。ユニットコントローラUCは、タッチパネル26a,26b(図4参照)で検出した位置決めピン32の位置に関する情報をコントローラ16へ出力する。
[0030]
 図6(a)に示されるように、ティーチングユニット20は、そのフランジ部22の外縁部が、保持部15における一対の爪部材15aにより下方から支えられるようにして保持される。ここで、何らかの事情によって保持部15がティーチングユニット20に対して上下動したとしても、フランジ部22が可動機構23によりこの上下動に連動して昇降する。これにより、図6(b)に示されるように、フランジ部22にあっては、一対の爪部材15aと接触し続け、保持部15で保持される状態が維持されることとなる。
[0031]
 図7及び図9に示されるように、天井搬送車10は、動作検出部40を備える。動作検出部40は、保持部15によりフランジ部22が保持されている状態において、保持部15に対するユニット本体部21の相対的な上昇動作を検出する。動作検出部40は、被検出部材41及びセンサ42を有する。
[0032]
 被検出部材41は、保持部15のベース15cに支持部材43を介して昇降自在に設けられている。被検出部材41は、ロッド44、グリッパ側接触部45、コイルスプリング46及びドグ47を含む。ロッド44は、上下方向に沿って延び、支持部材43に挿通されている。グリッパ側接触部45は、ロッド44の下端に取り付けられている。グリッパ側接触部45は、ユニット本体部21における接触部材24のユニット側接触部24bに当接する。コイルスプリング46は、ロッド44の周囲に配置されている。コイルスプリング46は、支持部材43に対して下側にグリッパ側接触部45を付勢する。
[0033]
 ドグ47は、第1遮光板47aと、第2遮光板47bと、を含む。第1遮光板47a及び第2遮光板47bは、例えば金属板によって一体的に形成されている。ドグ47の上端部は、連結部材48を介してロッド44の上端に固定されて一体化されている。このような被検出部材41は、ユニット本体部51の接触部材24に接触すると共に、当該ユニット本体部51の上昇に連動して保持部15に対して相対的に上昇する。
[0034]
 センサ42は、保持部15に対する被検出部材41の相対的な上昇を検出する。センサ42は、第1フォトインタラプタ42aと、第2フォトインタラプタ42bと、を含む。第1フォトインタラプタ42aは、その光軸La上(第1フォトインタラプタ42aの投光部と受光部との間)を第1遮光板47aが通過し得るように、支持部材43に取り付けられている。これにより、第1フォトインタラプタ42aは、第1遮光板47aの位置を検出可能である。第2フォトインタラプタ42bは、その光軸Lb上(第2フォトインタラプタ42bの投光部と受光部との間)を第2遮光板47bが通過し得るように、支持部材43に取り付けられている。これにより、第2フォトインタラプタ42bは、第2遮光板47bの位置を検出可能である。第1フォトインタラプタ42aの光軸La及び第2フォトインタラプタ42bの光軸Lbは、同一高さ(上下方向において同一の位置)に位置している。
[0035]
 センサ42を構成する第1フォトインタラプタ42a及び第2フォトインタラプタ42bは、それぞれ、第1遮光板47a及び第2遮光板47bの位置を検出可能である。第1フォトインタラプタ42aは、第1遮光板47aを検出した場合、その出力がOFFからONに切り替わる。第2フォトインタラプタ42bは、第2遮光板47bを検出した場合、その出力がOFFからONに切り替わる。つまり、センサ42は、ドグ47の位置を検出することにより、保持部15に対する被検出部材41(被検出部材41と連動するユニット本体部21)の相対的な上昇動作を検出する。センサ42は、その検出結果をコントローラ16へ出力する。
[0036]
 図1に戻り、天井搬送車10は、コントローラ16に認識部16aを含む。認識部16aは、動作検出部40の検出結果に基づいて、ティーチングユニット20がターゲットプレート30の位置決めピン32に載置され且つ位置決めピン32がティーチングユニット20の重量を受け持つ状態であることを認識する。具体的には、認識部16aは、第2フォトインタラプタ42bの出力がONの場合に、ティーチングユニット20が位置決めピン32に完全に載置された状態(いわゆる、ティーチングレベル)に達したことを認識する。
[0037]
 図8に示されるように、ターゲットプレート30は、ベースプレート31と、3つの位置決めピン32と、を備える。ベースプレート31は、ロードポート3に位置決めされた状態でロードポート3に取り付けられている。位置決めピン32は、ベースプレート31の所定位置に立設された位置決め部材である。3つの位置決めピン32は、そのうちの2つがタッチパネル26a,26b(図4参照)にそれぞれ接触し、且つ、他の1つが凹部27(図4参照)に接触する位置関係で配置されている。
[0038]
 以上のように構成された天井搬送車システム1では、ティーチングの実施時において、図1及び図9(a)に示されるように、天井搬送車10にティーチングユニット20が搭載され、ロードポート3にターゲットプレート30が設置される。このとき、フランジ部22が保持部15で保持され、動作検出部40の被検出部材41がユニット本体部21の接触部材24と当接されている。そして、設定されている移載条件に基づき、走行部11が走行レール2の所定位置に停止され、昇降部14により保持部15が所定距離下降される。これにより、ティーチングユニット20がロードポート3上のターゲットプレート30の位置決めピン32に接近される。
[0039]
 ティーチングユニット20とターゲットプレート30との間の距離が所定距離以下になった場合、減速開始用センサ25からON信号がコントローラ16へ出力され、保持部15の下降速度が減速される。図9(b)に示されるように、ティーチングユニット20が位置決めピン32に接触し、ティーチングユニット20が位置決めピン32上に載せられる。
[0040]
 図10(a)に示されるように、保持部15が引き続き下降されると、接触部材24に接触している被検出部材41が押し上げられる。これにより、図7に示されるように、ドグ47の第2遮光板47bが第2フォトインタラプタ42bの光軸Lb上まで上昇し、第2フォトインタラプタ42bの出力がONとなる。第2フォトインタラプタ42bの出力がONとなると、ティーチングユニット20がティーチングレベルに達した状態であることが認識部16a(図1参照)により認識される。その後、図10(b)に示されるように、ティーチングユニット20が位置決めピン32から離れるまで、昇降部14により保持部15が上昇される。このような下降及び上昇が所定回数行われ、ティーチングユニット20の揺れが抑制される。
[0041]
 続いて、保持部15が下降され、ティーチングユニット20のタッチパネル26a,26b(図4参照)に位置決めピン32が接触され、位置決めピン32の位置検出が行われる。この位置検出が複数回繰り返し実施された後、当該検出結果に基づいて、移載条件ないし移載条件に対する補正量がティーチングデータとして取得される。
[0042]
 以上、天井搬送車システム1及びティーチングユニット20では、保持部15で保持されるフランジ部22が、ユニット本体部21に対して昇降自在に設けられている。よって、位置決めピン32にティーチングユニット20のタッチパネル26a,26bを接触させた際、当該接触によってティーチングユニット20に衝撃荷重が加わったとしても、或いは、保持部15がティーチングユニット20に対して上下動したとしても、保持部15とフランジ部22とが離れたり又はずれたりすることを抑制できる。また、保持部15に対してフランジ部22が引っかかることを抑制できる。したがって、ティーチングユニット20のフランジ部22を確実に保持し、正確にティーチングを行うことが可能となる。
[0043]
 天井搬送車システム1では、保持部15によりフランジ部22が保持されている状態において、保持部15に対するユニット本体部21の相対的な上昇動作を動作検出部40により検出する。認識部16aは、動作検出部40の検出結果(第2フォトインタラプタ42bの出力がONか否か)に基づいて、ティーチングユニット20が位置決めピン32に載置され且つ位置決めピン32がティーチングユニット20の重量を受け持つ状態であることを認識する。これにより、ティーチングレベル、すなわち、ティーチング時にティーチングユニット20が位置決めピン32に完全に載置された状態に達したことを認識できる。
[0044]
 天井搬送車システム1において、動作検出部40は、保持部15に昇降自在に設けられた被検出部材41と、保持部15に対する被検出部材41の相対的な上昇を検出するセンサ42と、を有する。被検出部材41は、ユニット本体部21に接触すると共に、当該ユニット本体部21の上昇に連動して保持部15に対して相対的に上昇する。センサ42は、保持部15に対する被検出部材41の相対的な上昇を検出する。これにより、簡易な構成でティーチングレベルを認識する。
[0045]
 天井搬送車システム1では、フランジ部22は、ユニット本体部21に対して可動機構23を介して一定範囲内で昇降自在に設けられている。これにより、可動機構23を利用して、ユニット本体部21に対するフランジ部22の昇降自在な構成を具体的に実現できる。
[0046]
 ティーチングユニット20では、ユニット本体部21に接触部材24が立設されている。ティーチング時において接触部材24を動作検出部40の被検出部材41と接触させることにより、保持部15に対するユニット本体部21の相対的な上昇動作を動作検出部40で検出できる。その結果、動作検出部40の検出結果に基づいて、ティーチング時にティーチングユニット20がティーチングレベルに達したことを認識可能となる。
[0047]
 なお、ティーチングユニット20は、位置決めピン32の位置をタッチパネル26a,26bのみで検出するタッチパネル式のユニットであることから、カメラ式及びレーザ式のユニットに比べて低コスト化が可能である。ティーチングユニット20は、レチクルポッド用であるところ、このレチクルポッドは重心が中心にあり、天井搬送車10も水平に調整される。そのため、本実施形態では、水平面に対する傾き(角度)のティーチングを不要にできる。
[0048]
 以上、実施形態について説明したが、本発明の一態様は、上記実施形態に限定されない。上記実施形態では、フランジ部22を可動機構23を介してユニット本体部21に設けたが、これに限定されない。ユニット本体部21に対してフランジ部22が昇降自在であれば、種々の機構又は構成でフランジ部22を設けてもよい。
[0049]
 上記実施形態において、動作検出部40の構成は特に限定されない。例えば動作検出部40は、第2遮光板47bと第2フォトインタラプタ42bとの組のみで、保持部15に対するユニット本体部21の相対的な上昇動作を検出してもよい。上記実施形態では、検出部としてタッチパネル26a,26bを用いたが、位置決めピン32に接触することで当該位置決めピン32の位置を検出できれば、種々の検出部を用いてもよい。
[0050]
 上記実施形態では、ティーチングユニット20をレチクルポッド用のユニットとしたが、これに限定されない。水平面に対する傾き(角度)のティーチングが不要であれば、ティーチングユニット20はFOUP(Front Opening Unified Pod)用のユニットであってもよい。

符号の説明

[0051]
 1…天井搬送車システム、3…ロードポート(移載部)、10…天井搬送車、14…昇降部、15…保持部、16a…認識部、20…ティーチングユニット、21…ユニット本体部、22…フランジ部、23…可動機構、24…接触部材、26a,26b…タッチパネル(検出部)、32…位置決めピン(位置決め部材)、40…動作検出部、41…被検出部材、42…センサ。

請求の範囲

[請求項1]
 被搬送物を搬送する天井搬送車と、
 前記被搬送物が載置される移載部へ前記天井搬送車により前記被搬送物を移載する際のティーチングに用いられるティーチングユニットと、を備え、
 前記ティーチングユニットは、
  前記移載部に設置された位置決め部材に接触することで当該位置決め部材の位置を検出する検出部を有するユニット本体部と、
  前記ユニット本体部に対して昇降自在に設けられ、前記天井搬送車の昇降部で昇降される保持部に保持されるフランジ部と、を有する天井搬送車システム。
[請求項2]
 前記保持部により前記フランジ部が保持されている状態において、前記保持部に対する前記ユニット本体部の相対的な上昇動作を検出する動作検出部と、
 前記動作検出部の検出結果に基づいて、前記ティーチングユニットが前記位置決め部材に載置され且つ前記位置決め部材が前記ティーチングユニットの重量を受け持つ状態であることを認識する認識部と、を備える、請求項1に記載の天井搬送車システム。
[請求項3]
 前記動作検出部は、
  前記保持部に昇降自在に設けられ、前記ユニット本体部に接触すると共に、当該ユニット本体部の上昇に連動して前記保持部に対して相対的に上昇する被検出部材と、
  前記保持部に対する前記被検出部材の相対的な上昇を検出するセンサと、を有する、請求項2に記載の天井搬送車システム。
[請求項4]
 前記フランジ部は、前記ユニット本体部に対して可動機構を介して一定範囲内で昇降自在に設けられている、請求項1~3の何れか一項に記載の天井搬送車システム。
[請求項5]
 被搬送物を搬送する天井搬送車を備える天井搬送車システムにおいて、前記被搬送物が載置される移載部へ前記天井搬送車により前記被搬送物を移載する際のティーチングに用いられるティーチングユニットであって、
 前記移載部に設置された位置決め部材に接触することで当該位置決め部材の位置を検出する検出部を有するユニット本体部と、
 前記ユニット本体部に対して昇降自在に設けられ、前記天井搬送車の昇降部により昇降される保持部に保持されるフランジ部と、を有するティーチングユニット。
[請求項6]
 前記天井搬送車システムは、前記保持部により前記フランジ部が保持されている状態において前記保持部に対する前記ユニット本体部の相対的な上昇動作を検出する動作検出部を備え、
 前記動作検出部は、
  前記保持部に昇降自在に設けられ、前記ユニット本体部に接触すると共に、当該ユニット本体部の上昇に連動して前記保持部に対して相対的に上昇する被検出部材と、
  前記保持部に対する前記被検出部材の相対的な上昇を検出するセンサと、を有し、
 前記ユニット本体部には、前記動作検出部の前記被検出部材と接触する接触部材が立設されている、請求項5に記載のティーチングユニット。

図面

[ 図 1]

[ 図 2]

[ 図 3]

[ 図 4]

[ 図 5]

[ 図 6]

[ 図 7]

[ 図 8]

[ 図 9]

[ 図 10]