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1. (WO2018186005) エッチング液組成物及びエッチング方法

Pub. No.:    WO/2018/186005    International Application No.:    PCT/JP2018/002524
Publication Date: Fri Oct 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Jan 27 00:59:59 CET 2018
IPC: C23F 1/28
Applicants: ADEKA CORPORATION
株式会社ADEKA
Inventors: IKEDA Takashige
池田 貴重
KABEYA Ryoji
壁矢 良次
OHBA Mitsunori
大庭 三典
Title: エッチング液組成物及びエッチング方法
Abstract:
エッチング後の層表面を平滑にできるとともに、ニッケル含有層と金属系層との積層体を一括してエッチングした場合であっても両層間に大きな段差が生じにくい、ニッケル含有層をエッチングするためのエッチング液組成物を提供する。ニッケル含有層をエッチングするためのエッチング液組成物である。(A)第二鉄イオン成分を第二鉄イオン濃度換算で0.1~20質量%;(B)塩化水素0.01~20質量%;及び(C)5-アミノテトラゾール、ベンゾチアゾール、及びベンゾトリアゾールからなる群より選択される少なくとも1種の化合物0.01~5質量%;を含有する水溶液である。