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1. (WO2018185860) 蒸着装置、蒸着方法及び有機EL表示装置の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2018/185860 国際出願番号: PCT/JP2017/014150
国際公開日: 11.10.2018 国際出願日: 04.04.2017
IPC:
C23C 14/34 (2006.01) ,B23Q 3/15 (2006.01) ,H01L 51/50 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
34
スパッタリング
B 処理操作;運輸
23
工作機械;他に分類されない金属加工
Q
工作機械の細部;構成部分,または付属装置,例.倣いまたは制御装置;特定の細部または構成部分の構造により特徴づけられる工作機械一般;特定の結果を目的としない金属加工機械の組合わせ
3
機械から普通に取外すことのできる種類の工作物または工具の保持,支持または位置決めをする装置
15
工作物に直接作用する磁気的または電気的力を用いて工作物を保持するための装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
51
能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる固体装置;このような装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
50
光放出に特に適用されるもの,例.有機発光ダイオード(OLED)または高分子発光ダイオード(PLED)
出願人:
堺ディスプレイプロダクト株式会社 SAKAI DISPLAY PRODUCTS CORPORATION [JP/JP]; 大阪府堺市堺区匠町1番地 1, Takumicho, Sakai-ku, Sakai-shi, Osaka 5908522, JP
発明者:
岸本 克彦 KISHIMOTO, Katsuhiko; JP
西田 光志 NISHIDA, Koshi; JP
代理人:
特許業務法人朝日奈特許事務所 ASAHINA & CO.; 大阪府大阪市中央区谷町二丁目2番22号 NSビル NS Building, 2-22, Tanimachi 2-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5400012, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) VAPOR DEPOSITION DEVICE, VAPOR DEPOSITION METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC EL DISPLAY DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR, PROCÉDÉ DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF D’AFFICHAGE ÉLECTROLUMINESCENT ORGANIQUE
(JA) 蒸着装置、蒸着方法及び有機EL表示装置の製造方法
要約:
(EN) A vapor deposition device according to an embodiment of the present invention has a structure in which a vapor deposition mask is chucked by an electromagnet (3), and includes a control circuit (7) for gradually varying a magnetic field generated by the electromagnet (3) when applying an electric current to the electromagnet (3), the control circuit (7) being connected between the electromagnet (3) and a power source circuit (6) for driving the electromagnet (3). As a result, the variation in electric current flowing to an electromagnetic coil (32) of the electromagnet (3) is gradual, effects due to electromagnetic induction are suppressed, and defects in elements or the like formed on a vapor-deposited substrate or degradation of element characteristics is suppressed.
(FR) Un dispositif de dépôt en phase vapeur selon un mode de réalisation de la présente invention possède une structure dans laquelle un masque de dépôt en phase vapeur est serré par un électroaimant (3), et comprend un circuit de commande (7) pour faire varier progressivement un champ magnétique généré par l’électroaimant (3) lors de l’application d’un courant électrique à l’électroaimant (3), le circuit de commande (7) étant connecté entre l’électroaimant (3) et un circuit de source d’alimentation (6) pour exciter l’électroaimant (3). Par conséquent, la variation du courant électrique circulant vers une bobine électromagnétique (32) de l’électroaimant (3) est progressive, les effets dus à l’induction électromagnétique sont supprimés, et les défauts dans des éléments ou similaire formés sur un substrat déposé en phase vapeur ou la dégradation de caractéristiques d’élément sont supprimés.
(JA) 実施形態により開示される蒸着装置は、電磁石(3)により蒸着マスクが吸着される構造になっており、電磁石(3)を駆動する電源回路(6)と電磁石(3)との間に接続され、電磁石(3)への電流の印加の際に電磁石(3)によって発生する磁界を緩やかに変化させる制御回路(7)を含んでいる。その結果、電磁石(3)の電磁コイル(32)に流れる電流の変化が緩やかになり、電磁誘導による影響が抑制され、被蒸着基板に形成される素子などの不良や、素子特性の劣化を抑制する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
US20190084105