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1. (WO2018185836) 大気圧プラズマ装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2018/185836 国際出願番号: PCT/JP2017/014091
国際公開日: 11.10.2018 国際出願日: 04.04.2017
IPC:
H05H 1/00 (2006.01)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
H
プラズマ技術;加速された荷電粒子のまたは中性子の発生;中性分子または原子ビームの発生または加速
1
プラズマの生成;プラズマの取扱い
出願人:
株式会社FUJI FUJI CORPORATION [JP/JP]; 愛知県知立市山町茶碓山19番地 19 Chausuyama, Yamamachi, Chiryu-shi, Aichi 4728686, JP
発明者:
神藤 高広 JINDO, Takahiro; JP
池戸 俊之 IKEDO, Toshiyuki; JP
丹羽 陽大 NIWA, Akihiro; JP
代理人:
特許業務法人ネクスト NEXT INTERNATIONAL; 愛知県名古屋市中区錦一丁目11番20号 大永ビルディング7階 7th Floor, Daiei Building, 11-20, Nishiki 1-chome, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi 4600003, JP
深津 泰隆 FUKATSU, Yasutaka; JP
片岡 友希 KATAOKA, Tomoki; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA DEVICE
(FR) DISPOSITIF À PLASMA À PRESSION ATMOSPHÉRIQUE
(JA) 大気圧プラズマ装置
要約:
(EN) There is a need for a useful atmospheric pressure plasma device in which the pressure inside a gas pipe is detected by a pressure sensor, and a determination unit determines the state of the device according to the pressure within the gas pipe having deviated from a nominal value. This atmospheric pressure plasma device comprises: a plasma jetting head; a gas pipe which supplies gas to the plasma jetting head; a flowrate control gauge which controls the flowrate of gas which is fed to the gas pipe; a pressure sensor which is provided on the downstream side X of the flowrate control gauge, and which detects the pressure inside the gas pipe; and a determination unit which determines the state of the device according to the pressure within the gas pipe which is stipulated for each flowrate of gas supplied having deviated from a nominal value. As a result of this configuration, it is possible to identify gas leakages in the atmospheric pressure plasma device. It is also possible to determine whether plasma is being generated in a satisfactory state.
(FR) Il existe un besoin d'un dispositif à plasma à pression atmosphérique utile dans lequel la pression à l'intérieur d'un tuyau de gaz est détectée par un capteur de pression, et une unité de détermination détermine l'état du dispositif en fonction de la pression à l'intérieur du tuyau de gaz qui a dévié d'une valeur nominale. Ce dispositif à plasma à pression atmosphérique comprend : une tête d'éjection de plasma; un tuyau de gaz qui fournit du gaz à la tête d'éjection de plasma; une jauge de régulation de débit qui régule le débit de gaz qui est fourni au tuyau de gaz; un capteur de pression qui est disposé sur le côté aval X de la jauge de régulation de débit, et qui détecte la pression à l'intérieur du tuyau de gaz; et une unité de détermination qui détermine l'état du dispositif en fonction de la pression à l'intérieur du tuyau de gaz qui est stipulée pour chaque débit de gaz fourni qui a dévié d'une valeur nominale. Grâce à cette configuration, il est possible d'identifier des fuites de gaz dans le dispositif à plasma à pression atmosphérique. Il est également possible de déterminer si un plasma est généré dans un état satisfaisant.
(JA) 圧力センサによりガス配管内の圧力を検出し、判断部によりガス配管内の圧力が標準値から外れることに応じて装置の状態を判断する有用な大気圧プラズマ装置が求められている。プラズマ照射ヘッドと、プラズマ照射ヘッドにガスを供給するガス配管と、ガス配管に供給するガスの流量を制御する流量制御計と、流量制御計の下流側Xに配設され、ガス配管内の圧力を検出する圧力センサと、供給されるガスの流量毎に規定されるガス配管内の圧力が標準値から外れることに応じて、装置の状態を判断する判断部と、を備えた大気圧プラズマ装置を提供する。これにより、大気圧プラズマ装置のガス漏れを判断することができる。また、プラズマが良好な状態で発生しているか否かを判断することができる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)