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1. (WO2018185835) プラズマ発生システム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2018/185835 国際出願番号: PCT/JP2017/014090
国際公開日: 11.10.2018 国際出願日: 04.04.2017
IPC:
H05H 1/00 (2006.01) ,H05H 1/26 (2006.01)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
H
プラズマ技術;加速された荷電粒子のまたは中性子の発生;中性分子または原子ビームの発生または加速
1
プラズマの生成;プラズマの取扱い
H 電気
05
他に分類されない電気技術
H
プラズマ技術;加速された荷電粒子のまたは中性子の発生;中性分子または原子ビームの発生または加速
1
プラズマの生成;プラズマの取扱い
24
プラズマの発生
26
プラズマトーチ
出願人:
株式会社FUJI FUJI CORPORATION [JP/JP]; 愛知県知立市山町茶碓山19番地 19 Chausuyama, Yamamachi, Chiryu-shi, Aichi 4728686, JP
発明者:
神藤 高広 JINDO, Takahiro; JP
池戸 俊之 IKEDO, Toshiyuki; JP
代理人:
特許業務法人ネクスト NEXT INTERNATIONAL; 愛知県名古屋市中区錦一丁目11番20号 大永ビルディング7階 7th Floor, Daiei Building, 11-20, Nishiki 1-chome, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi 4600003, JP
深津 泰隆 FUKATSU, Yasutaka; JP
片岡 友希 KATAOKA, Tomoki; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) PLASMA GENERATION SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE GÉNÉRATION DE PLASMA
(JA) プラズマ発生システム
要約:
(EN) Provided is a plasma generation system with which it is possible to more accurately measure the actual temperature of plasma gas which is jetted onto a body to be treated. This plasma generation system comprises: a jetting head which generates a plasma gas obtained by plasmafying a process gas by supplying electric power to electrodes provided to a reaction chamber, and jets the generated plasma gas onto the body to be treated; and a temperature sensor which detects the temperature of the plasma gas and outputs a detection signal according to the detected temperature. The temperature sensor is positioned in a position a distance away from the jetting port which jets the plasma gas of the jetting head, and which jets the plasma gas from the jetting head. The jetting head is constituted so as to be able to move between the body to be treated and the temperature sensor.
(FR) La présente invention concerne un système de génération de plasma avec lequel il est possible de mesurer plus précisément la température réelle de gaz plasma qui est projeté sur un corps à traiter. Ce système de génération de plasma comprend : une tête de jet qui génère un gaz plasma obtenu par plasmafication d'un gaz de traitement en fournissant de l'énergie électrique à des électrodes disposées dans une chambre de réaction, et projette le gaz plasma généré sur le corps à traiter ; et un capteur de température qui détecte la température du gaz plasma et délivre un signal de détection en fonction de la température détectée. Le capteur de température est positionné dans une position éloignée de l'orifice de jet qui projette le gaz plasma de la tête de jet, et qui projette le gaz plasma à partir de la tête de jet. La tête de jet est constituée de manière à pouvoir se déplacer entre le corps à traiter et le capteur de température.
(JA) 被処理体に照射されるプラズマガスの実際の温度をより正確に計測できるプラズマ発生システムを提供すること。 プラズマ発生システムは、反応室に設けられた電極に電力を供給し処理ガスをプラズマ化させたプラズマガスを発生させ、発生したプラズマガスを被処理体に照射する照射ヘッドと、プラズマガスの温度を検出し、検出した温度に応じた検出信号を出力する温度センサと、を備える。温度センサは、照射ヘッドのプラズマガスを照射する照射口から離間した位置に配置され、照射ヘッドからプラズマガスを照射される。照射ヘッドは、被処理体と温度センサとの間で移動可能に構成される。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)