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1. (WO2018185833) 情報処理装置

Pub. No.:    WO/2018/185833    International Application No.:    PCT/JP2017/014088
Publication Date: Fri Oct 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Apr 05 01:59:59 CEST 2017
IPC: H05H 1/00
H05H 1/24
Applicants: FUJI CORPORATION
株式会社FUJI
Inventors: JINDO, Takahiro
神藤 高広
TAKIKAWA, Shinji
瀧川 慎二
NIWA, Akihiro
丹羽 陽大
Title: 情報処理装置
Abstract:
複数の電極間での放電によりプラズマを発生させるプラズマ発生装置の前記複数の電極に供給される電流又は電圧を指標する指標値を継時的に取得する取得部と、前記取得部により取得された前記指標値に基づいて、前記指標値の変化に関する数値である変化値を演算する演算部と、所定のタイミングにおいて前記演算部により演算された前記変化値を、特定変化値として記憶する記憶部と、前記演算部により前記変化値が演算される毎に、当該変化値の演算時の電力供給状態が、前記所定のタイミングにおける電力供給状態になっているか否かを、当該変化値と前記特定変化値とに基づいて判断する第1判断部と、前記第1判断部により前記変化値の演算時の電力供給状態が、前記所定のタイミングにおける電力供給状態になっていると判断された場合に、所定の情報を報知する報知部とを有する制御装置を備える情報処理装置。