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1. (WO2018185832) 情報処理装置

Pub. No.:    WO/2018/185832    International Application No.:    PCT/JP2017/014087
Publication Date: Fri Oct 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Apr 05 01:59:59 CEST 2017
IPC: H05H 1/00
H05H 1/24
Applicants: FUJI CORPORATION
株式会社FUJI
Inventors: JINDO, Takahiro
神藤 高広
TAKIKAWA, Shinji
瀧川 慎二
Title: 情報処理装置
Abstract:
複数の電極間での放電によりプラズマを発生させるプラズマ発生装置の複数の電極に供給される電流を指標する指標値を継時的に取得する取得部と、取得部により取得された指標値が設定条件を満たすか否かを判断する判断部と、判断部により指標値が設定条件を満たさないと判断された回数に基づいて、所定の情報を報知する報知部とを有する制御装置を備える情報処理装置。