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1. (WO2018181913) 物体保持装置、処理装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び物体保持方法

Pub. No.:    WO/2018/181913    International Application No.:    PCT/JP2018/013657
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Mar 31 01:59:59 CEST 2018
IPC: G03F 7/20
H01L 21/68
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: AOKI, Yasuo
青木 保夫
YOSHIDA, Ryohei
吉田 亮平
Title: 物体保持装置、処理装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び物体保持方法
Abstract:
基板ステージ装置(20)は、基板(P)を保持し、X軸方向及びY軸方向を含む所定平面に平行なる上面部(104)と、Z軸方向に関して、上面部と対向する下面部(102)と、を有する微動ステージ(22)と、X軸方向及びY軸方向に関して上面部及び下面部と重なり、且つ、Z軸方向に関して上面部及び下面部に挟まれるように配置され、微動ステージを駆動するXボイスコイルモータ(70X)と、を備える。