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1. (WO2018181912) 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び移動体の駆動方法

Pub. No.:    WO/2018/181912    International Application No.:    PCT/JP2018/013656
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Mar 31 01:59:59 CEST 2018
IPC: G05D 3/12
G03F 7/20
G05D 3/00
H01L 21/68
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: HARA, Atsushi
原 篤史
SAKATA, Koichi
坂田 晃一
HASHIBA, Seiji
橋場 成史
Title: 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び移動体の駆動方法
Abstract:
基板ステージ装置(20)は、微動ステージ(24)と、X粗動ステージ(34)と、Y粗動ステージ(32)と、X粗動ステージをY粗動ステージに対して相対移動させる推力を、第1推力として微動ステージに付与するボイスコイルモータ(72X)と、第1推力よりも大きな第2推力として微動ステージに付与するエアアクチュエータ(74X)とを含み、微動ステージとX粗動ステージとをY粗動ステージに対して相対移動させるアクチュエータユニット(70X1)と、ボイスコイルモータ及びエアアクチュエータを制御し、微動ステージとX粗動ステージとをY粗動ステージに対して相対移動させる際に要求される推力に基づいて、ボイスコイルモータ及びエアアクチュエータの少なくとも一方のアクチュエータを制御する制御系と、を備える。