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1. (WO2018181788) SiC単結晶体の品質評価方法及びこれを利用した炭化珪素単結晶インゴットの製造方法
国内段階移行に関する情報(詳細)
官庁移行日国内番号国内ステータス
日本 14.08.20182018543181
ドイツ 26.11.2018112018000035Published: 28.02.2019