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1. (WO2018181476) 露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、及び、デバイス製造方法

Pub. No.:    WO/2018/181476    International Application No.:    PCT/JP2018/012767
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Mar 29 01:59:59 CEST 2018
IPC: G03F 7/20
H01L 21/683
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: AOKI, Yasuo
青木 保夫
TOMIE, Akihiko
冨江 瑛彦
Title: 露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、及び、デバイス製造方法
Abstract:
露光装置(1)は、光学系(13)を介して照明光(EL)を物体(P)に照射し、物体を走査露光して、マスク(M)が有する所定パターンを物体上に形成する露光装置において、光学系を支持する支持装置(14)と、支持装置に設けられ、物体を非接触支持する物体支持部(152)とを備える。