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1. (WO2018181409) 荷電粒子ビーム装置
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国際公開番号: WO/2018/181409 国際出願番号: PCT/JP2018/012609
国際公開日: 04.10.2018 国際出願日: 27.03.2018
IPC:
H01J 37/20 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02
細部
20
物体または材料を支持しまたは位置づける手段;支持体に関連した隔膜壁またはレンズを調節する手段
出願人:
株式会社日立ハイテクサイエンス HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003, JP
発明者:
藤井 利昭 FUJII Toshiaki; JP
富松 聡 TOMIMATSU Satoshi; JP
鈴木 浩之 SUZUKI Hiroyuki; JP
代理人:
特許業務法人栄光特許事務所 Eikoh Patent Firm, P.C.; JP
優先権情報:
2017-06090327.03.2017JP
2018-05523122.03.2018JP
発明の名称: (EN) CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS
(FR) APPAREIL À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子ビーム装置
要約:
(EN) This charged particle beam apparatus is provided with: a charged particle beam lens-barrel for emitting charged particle beams onto a sample; a tilting base (64A) that has a first sample holding part capable of holding the sample and that holds the first sample holding part so as to be rotatable about an axis (S1); a tilting base (64B) that has a second sample holding part capable of holding the sample and that holds the second sample holding part so as to be rotatable about an axis (S2) parallel to the axis (S1); and a drive force supply part that supplies to the tilting bases (64A, 64B) a drive force for rotating the tilting bases (64A, 64B) in association with each other.
(FR) La présente invention concerne un appareil à faisceau de particules chargées, comprenant : un barillet à faisceau de particules chargées servant à émettre des faisceaux de particules chargées sur un échantillon ; une base d'inclinaison (64A) comportant une première partie de maintien d'échantillon apte à maintenir l'échantillon et maintenant la première partie de maintien d'échantillon pour qu'elle puisse tourner autour d'un axe (S1) ; une base d'inclinaison (64B) comportant une seconde partie de maintien d'échantillon apte à maintenir l'échantillon et maintenant la seconde partie de maintien d'échantillon pour qu'elle puisse tourner autour d'un axe (S2) parallèle à l'axe (S1) ; et une partie d'application de force d'entraînement qui applique aux bases d'inclinaison (64A, 64B) une force d'entraînement servant à tourner les bases d'inclinaison (64A, 64B) en association l'une avec l'autre.
(JA) 荷電粒子ビーム装置は、試料に荷電粒子ビームを照射する荷電粒子ビーム鏡筒と、試料を保持可能な第1の試料保持部を有し、第1の試料保持部を軸線(S1)回りに回動可能に保持する傾斜台(64A)と、試料を保持可能な第2の試料保持部を有し、第2の試料保持部を軸線(S1)と平行な軸線(S2)回りに回動可能に保持する傾斜台(64B)と、傾斜台(64A、64B)を連動して回動させる駆動力を傾斜台(64A、64B)に供給する駆動力供給部と、を備える。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)