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1. (WO2018181297) 光変調素子

Pub. No.:    WO/2018/181297    International Application No.:    PCT/JP2018/012408
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Mar 28 01:59:59 CEST 2018
IPC: G02F 1/035
Applicants: SUMITOMO OSAKA CEMENT CO., LTD.
住友大阪セメント株式会社
TOHOKU UNIVERSITY
国立大学法人東北大学
Inventors: FUJINO Tetsuya
藤野 哲也
MOTOYA Masayuki
本谷 将之
GOTO Tetsuya
後藤 哲也
Title: 光変調素子
Abstract:
電極に高周波信号を印加して光変調を行う導波路型の光変調素子において、電極の設計自由度を向上して更なる広帯域化を実現し得るようにする。 基板(100)に設けられた光導波路(104等)と、当該光導波路を伝搬する光波を制御する電極(108等)と、を備え、当該電極に高周波信号を伝搬させて光変調を行う光変調素子(10)であって、前記電極は、銅(Cu)又は銅合金で構成される導電層(108a等)と、銅及び銅合金以外の材料で構成される保護層(108b等)と、を含む。